中国钼业
中國鉬業
중국목업
CHINA MOLYBDENUM INDUSTRY
2013年
3期
36-42
,共7页
LCD溅射靶材%大尺寸钼板%工艺%组织%织构%性能
LCD濺射靶材%大呎吋鉬闆%工藝%組織%織構%性能
LCD천사파재%대척촌목판%공예%조직%직구%성능
LCD sputtering target%large size molybdenum plate%technology%microstructure%texture%property
进行了烧结、轧制工艺对比试验,研究了粉末粒度、形貌和烧结工艺对大型钼烧结板坯组织和性能的影响；轧制方式对LCD溅射靶材用大尺寸钼板微观组织、织构以及性能的影响,探讨了影响LCD溅射靶材用大尺寸钼板组织、织构及性能的主要因素.结果表明:制备大型烧结钼板坯可选用颗粒大小较为均匀、分布疏松、粗细搭配合理的中等粒度钼粉；相比普通钼板坯而言,通过延长保温时间,1 900℃高温氢气中频烧结,可制备轧制大尺寸钼靶材用大型钼板坯；LCD溅射靶材用大尺寸钼板轧制总加工率需大于70％；采用1火次多道次单向轧制工艺,正常轧制的LCD溅射靶材用长条形钼板再结晶退火后可得到均匀细小的等轴晶粒组织；由于纵向开坯轧制阶段的不均匀变形(非正常轧制),导致包覆横轧得到的LCD溅射靶材用宽幅矩形钼板再结晶退火后组织不均匀,细晶粒和粗大晶粒并存；单向正常轧制的LCD溅射靶材用长条形钼板再结晶退火后近表层无明显优先织构取向.纵向开坯轧制,然后用包覆换向横轧得到的LCD溅射靶材用宽幅钼板再结晶退火后近表层存在较强的{0,0,1}＜1,-1,0＞、{0,0,1}＜6,-1,0＞和{0,1,1}＜1,0,0＞织构.
進行瞭燒結、軋製工藝對比試驗,研究瞭粉末粒度、形貌和燒結工藝對大型鉬燒結闆坯組織和性能的影響；軋製方式對LCD濺射靶材用大呎吋鉬闆微觀組織、織構以及性能的影響,探討瞭影響LCD濺射靶材用大呎吋鉬闆組織、織構及性能的主要因素.結果錶明:製備大型燒結鉬闆坯可選用顆粒大小較為均勻、分佈疏鬆、粗細搭配閤理的中等粒度鉬粉；相比普通鉬闆坯而言,通過延長保溫時間,1 900℃高溫氫氣中頻燒結,可製備軋製大呎吋鉬靶材用大型鉬闆坯；LCD濺射靶材用大呎吋鉬闆軋製總加工率需大于70％；採用1火次多道次單嚮軋製工藝,正常軋製的LCD濺射靶材用長條形鉬闆再結晶退火後可得到均勻細小的等軸晶粒組織；由于縱嚮開坯軋製階段的不均勻變形(非正常軋製),導緻包覆橫軋得到的LCD濺射靶材用寬幅矩形鉬闆再結晶退火後組織不均勻,細晶粒和粗大晶粒併存；單嚮正常軋製的LCD濺射靶材用長條形鉬闆再結晶退火後近錶層無明顯優先織構取嚮.縱嚮開坯軋製,然後用包覆換嚮橫軋得到的LCD濺射靶材用寬幅鉬闆再結晶退火後近錶層存在較彊的{0,0,1}＜1,-1,0＞、{0,0,1}＜6,-1,0＞和{0,1,1}＜1,0,0＞織構.
진행료소결、알제공예대비시험,연구료분말립도、형모화소결공예대대형목소결판배조직화성능적영향；알제방식대LCD천사파재용대척촌목판미관조직、직구이급성능적영향,탐토료영향LCD천사파재용대척촌목판조직、직구급성능적주요인소.결과표명:제비대형소결목판배가선용과립대소교위균균、분포소송、조세탑배합리적중등립도목분；상비보통목판배이언,통과연장보온시간,1 900℃고온경기중빈소결,가제비알제대척촌목파재용대형목판배；LCD천사파재용대척촌목판알제총가공솔수대우70％；채용1화차다도차단향알제공예,정상알제적LCD천사파재용장조형목판재결정퇴화후가득도균균세소적등축정립조직；유우종향개배알제계단적불균균변형(비정상알제),도치포복횡알득도적LCD천사파재용관폭구형목판재결정퇴화후조직불균균,세정립화조대정립병존；단향정상알제적LCD천사파재용장조형목판재결정퇴화후근표층무명현우선직구취향.종향개배알제,연후용포복환향횡알득도적LCD천사파재용관폭목판재결정퇴화후근표층존재교강적{0,0,1}＜1,-1,0＞、{0,0,1}＜6,-1,0＞화{0,1,1}＜1,0,0＞직구.
