新型工业化
新型工業化
신형공업화
New Industrialization Straregy
2013年
7期
78-85
,共8页
黄强先%宫二敏%韩彬%张维富%徐从裕
黃彊先%宮二敏%韓彬%張維富%徐從裕
황강선%궁이민%한빈%장유부%서종유
精密仪器及机械%纳米三坐标测量机%压电直线电机%反馈控制
精密儀器及機械%納米三坐標測量機%壓電直線電機%反饋控製
정밀의기급궤계%납미삼좌표측량궤%압전직선전궤%반궤공제
precision instrument and machinery%micro-nano CMM%piezoelectric linear motor%feedback control
本文主要介绍了纳米三坐标测量机的驱动系统.纳米三坐标测量机是一个十分复杂的系统,包括复杂的机械结构,精密的信号处理系统,灵敏的测头系统,精密的驱动系统以及其他的系统和模块.在本研究系统中,基于DVD读取头的新型的三维测量测头应用于三维测量以及定位.三个压电线性电机作为纳米三坐标测量机的驱动电机.机械机构的运动平台按照特殊的原理设计,可以最大化的消除阿贝误差.长度测量系统采用了激光回馈干涉仪.所提出的驱动与控制策略,可以实现长距离纳米级精度的快速精密驱动以及定位.X、Y、Z三个方向上的行程为50am×50am×50mm.目前,本系统可以实现对不定距离的单方向的快速稳定的逼近,并有效防止过冲.在一维内,不同位置点的定位波动可以被控制在士4砌左右.经过目前的测试,本系统适用于纳米三坐标测量机的驱动与控制任务.
本文主要介紹瞭納米三坐標測量機的驅動繫統.納米三坐標測量機是一箇十分複雜的繫統,包括複雜的機械結構,精密的信號處理繫統,靈敏的測頭繫統,精密的驅動繫統以及其他的繫統和模塊.在本研究繫統中,基于DVD讀取頭的新型的三維測量測頭應用于三維測量以及定位.三箇壓電線性電機作為納米三坐標測量機的驅動電機.機械機構的運動平檯按照特殊的原理設計,可以最大化的消除阿貝誤差.長度測量繫統採用瞭激光迴饋榦涉儀.所提齣的驅動與控製策略,可以實現長距離納米級精度的快速精密驅動以及定位.X、Y、Z三箇方嚮上的行程為50am×50am×50mm.目前,本繫統可以實現對不定距離的單方嚮的快速穩定的逼近,併有效防止過遲.在一維內,不同位置點的定位波動可以被控製在士4砌左右.經過目前的測試,本繫統適用于納米三坐標測量機的驅動與控製任務.
본문주요개소료납미삼좌표측량궤적구동계통.납미삼좌표측량궤시일개십분복잡적계통,포괄복잡적궤계결구,정밀적신호처리계통,령민적측두계통,정밀적구동계통이급기타적계통화모괴.재본연구계통중,기우DVD독취두적신형적삼유측량측두응용우삼유측량이급정위.삼개압전선성전궤작위납미삼좌표측량궤적구동전궤.궤계궤구적운동평태안조특수적원리설계,가이최대화적소제아패오차.장도측량계통채용료격광회궤간섭의.소제출적구동여공제책략,가이실현장거리납미급정도적쾌속정밀구동이급정위.X、Y、Z삼개방향상적행정위50am×50am×50mm.목전,본계통가이실현대불정거리적단방향적쾌속은정적핍근,병유효방지과충.재일유내,불동위치점적정위파동가이피공제재사4체좌우.경과목전적측시,본계통괄용우납미삼좌표측량궤적구동여공제임무.
