科学技术与工程
科學技術與工程
과학기술여공정
SCIENCE TECHNOLOGY AND ENGINEERING
2013年
34期
10150-10154
,共5页
复合量程微加速度计%MEMS%封装%ANSYS%仿真
複閤量程微加速度計%MEMS%封裝%ANSYS%倣真
복합량정미가속도계%MEMS%봉장%ANSYS%방진
multi-ranged micro-accelerometer%MEMS%package%ANSYS%simulate
针对复合量程微加速度计的封装设计与测试的理论、仿真分析和具体试验测试三个方面进行了详细论述,最终确定出最佳的封装方案.理论分析主要通过对几种典型MEMS封装类型特点的比较,确定了最优的封装类型为陶瓷封装.仿真分析主要通过ANSYS软件进行复合量程加速度计热应力仿真,确定了复合量程加速度计的陶瓷封装管壳的厚度.通过静态特性测试及动态特性测试等进一步验证了该封装结构具有抗过载能力.
針對複閤量程微加速度計的封裝設計與測試的理論、倣真分析和具體試驗測試三箇方麵進行瞭詳細論述,最終確定齣最佳的封裝方案.理論分析主要通過對幾種典型MEMS封裝類型特點的比較,確定瞭最優的封裝類型為陶瓷封裝.倣真分析主要通過ANSYS軟件進行複閤量程加速度計熱應力倣真,確定瞭複閤量程加速度計的陶瓷封裝管殼的厚度.通過靜態特性測試及動態特性測試等進一步驗證瞭該封裝結構具有抗過載能力.
침대복합량정미가속도계적봉장설계여측시적이론、방진분석화구체시험측시삼개방면진행료상세논술,최종학정출최가적봉장방안.이론분석주요통과대궤충전형MEMS봉장류형특점적비교,학정료최우적봉장류형위도자봉장.방진분석주요통과ANSYS연건진행복합량정가속도계열응력방진,학정료복합량정가속도계적도자봉장관각적후도.통과정태특성측시급동태특성측시등진일보험증료해봉장결구구유항과재능력.
