南阳理工学院学报
南暘理工學院學報
남양리공학원학보
JOURNAL OF NANYANG INSTITUTE OF TECHNOLOGY
2012年
4期
67-72
,共6页
薄膜应力%Stoney公式%曲率半径
薄膜應力%Stoney公式%麯率半徑
박막응력%Stoney공식%곡솔반경
研究和总结测量薄膜应力的方法,根据测量薄膜的不同特征量将常用的测量方法分为Stoney公式法、微观测量法等方法.在这些方法中,X射线法、激光干涉法等精确度较高,牛顿环法在实验数据处理和操作上比较简便省时,光栅反射法和拉曼法则比较新颖,最后对各测量方法的优缺点和适用范围进行了总结.
研究和總結測量薄膜應力的方法,根據測量薄膜的不同特徵量將常用的測量方法分為Stoney公式法、微觀測量法等方法.在這些方法中,X射線法、激光榦涉法等精確度較高,牛頓環法在實驗數據處理和操作上比較簡便省時,光柵反射法和拉曼法則比較新穎,最後對各測量方法的優缺點和適用範圍進行瞭總結.
연구화총결측량박막응력적방법,근거측량박막적불동특정량장상용적측량방법분위Stoney공식법、미관측량법등방법.재저사방법중,X사선법、격광간섭법등정학도교고,우돈배법재실험수거처리화조작상비교간편성시,광책반사법화랍만법칙비교신영,최후대각측량방법적우결점화괄용범위진행료총결.
