制造业自动化
製造業自動化
제조업자동화
MANUFACTURING AUTOMATION
2012年
20期
14-17
,共4页
交流调制%干涉条纹%硬件细分%软件细分%补偿
交流調製%榦涉條紋%硬件細分%軟件細分%補償
교류조제%간섭조문%경건세분%연건세분%보상
本文以大行程、高精度衍射光栅位移测量系统为研究对象,提出了一种硬件计数与软件细分相结合的干涉条纹信号处理方法.运用交流调制技术对光栅信号进行处理,提高测量系统抗环境噪声和抗直流偏移能力.使用FPGA对光栅信号进行硬件四细分,在此基础上对信号的交流部分进行滤波、检波处理后用于上位机软件细分,并对该方法引入的误差进行了分析和补偿.最后应用双频干涉测量系统进行了比对实验,其结果表明该方法能实现±0.30μm的精度.
本文以大行程、高精度衍射光柵位移測量繫統為研究對象,提齣瞭一種硬件計數與軟件細分相結閤的榦涉條紋信號處理方法.運用交流調製技術對光柵信號進行處理,提高測量繫統抗環境譟聲和抗直流偏移能力.使用FPGA對光柵信號進行硬件四細分,在此基礎上對信號的交流部分進行濾波、檢波處理後用于上位機軟件細分,併對該方法引入的誤差進行瞭分析和補償.最後應用雙頻榦涉測量繫統進行瞭比對實驗,其結果錶明該方法能實現±0.30μm的精度.
본문이대행정、고정도연사광책위이측량계통위연구대상,제출료일충경건계수여연건세분상결합적간섭조문신호처리방법.운용교류조제기술대광책신호진행처리,제고측량계통항배경조성화항직류편이능력.사용FPGA대광책신호진행경건사세분,재차기출상대신호적교류부분진행려파、검파처리후용우상위궤연건세분,병대해방법인입적오차진행료분석화보상.최후응용쌍빈간섭측량계통진행료비대실험,기결과표명해방법능실현±0.30μm적정도.
