现代计算机（专业版）
現代計算機（專業版）
현대계산궤（전업판）
MODERN COMPUTER
2013年
5期
30-34,39
,共6页
多晶硅衬底%结晶度检测%边缘拼接
多晶硅襯底%結晶度檢測%邊緣拼接
다정규츤저%결정도검측%변연병접
多晶硅衬底图像具有对比度低的特点,在检测硅片结晶度时缺少成熟可用的算法,提出一种新的图像处理算法,基本完成多晶硅晶畴自动检测的算法框架.将图像分块后对子块进行晶畴边缘提取,然后拼接所有边缘,从而提取出整幅图像的晶畴轮廓.针对边缘拼接,重点研究自适应膨胀算法和蚁群算法,并提出基于梯度的改进算法.实验证明算法运算简单,拼接效果好.该技术路线经进一步优化将可实现多晶硅衬底的结晶度自动检测.
多晶硅襯底圖像具有對比度低的特點,在檢測硅片結晶度時缺少成熟可用的算法,提齣一種新的圖像處理算法,基本完成多晶硅晶疇自動檢測的算法框架.將圖像分塊後對子塊進行晶疇邊緣提取,然後拼接所有邊緣,從而提取齣整幅圖像的晶疇輪廓.針對邊緣拼接,重點研究自適應膨脹算法和蟻群算法,併提齣基于梯度的改進算法.實驗證明算法運算簡單,拼接效果好.該技術路線經進一步優化將可實現多晶硅襯底的結晶度自動檢測.
다정규츤저도상구유대비도저적특점,재검측규편결정도시결소성숙가용적산법,제출일충신적도상처리산법,기본완성다정규정주자동검측적산법광가.장도상분괴후대자괴진행정주변연제취,연후병접소유변연,종이제취출정폭도상적정주륜곽.침대변연병접,중점연구자괄응팽창산법화의군산법,병제출기우제도적개진산법.실험증명산법운산간단,병접효과호.해기술로선경진일보우화장가실현다정규츤저적결정도자동검측.
