太阳能
太暘能
태양능
SOLAR ENERGY
2013年
6期
38-40
,共3页
孙昀%贾锐%孟彦龙%王仕建%金智%刘新宇
孫昀%賈銳%孟彥龍%王仕建%金智%劉新宇
손윤%가예%맹언룡%왕사건%금지%류신우
Al2O3%ALD%硅表面钝化%少数载流子有效寿命%高效硅太阳电池
Al2O3%ALD%硅錶麵鈍化%少數載流子有效壽命%高效硅太暘電池
Al2O3%ALD%규표면둔화%소수재류자유효수명%고효규태양전지
系统研究了采用热-原子层沉积技术生长的Al2O3对p型晶体硅的表面钝化特性.Al2O3膜层的钝化质量通过采用微波光电导衰减的方法证明Al2O3介质层可提供优异的表面钝化效果.此外,通过采用C-V技术和椭圆偏振光谱测试技术对Al2O3介质层的表征证明,除了薄膜层中的负固定电荷,Al2O3介质层的H的含量在钝化效果中起着关键作用.
繫統研究瞭採用熱-原子層沉積技術生長的Al2O3對p型晶體硅的錶麵鈍化特性.Al2O3膜層的鈍化質量通過採用微波光電導衰減的方法證明Al2O3介質層可提供優異的錶麵鈍化效果.此外,通過採用C-V技術和橢圓偏振光譜測試技術對Al2O3介質層的錶徵證明,除瞭薄膜層中的負固定電荷,Al2O3介質層的H的含量在鈍化效果中起著關鍵作用.
계통연구료채용열-원자층침적기술생장적Al2O3대p형정체규적표면둔화특성.Al2O3막층적둔화질량통과채용미파광전도쇠감적방법증명Al2O3개질층가제공우이적표면둔화효과.차외,통과채용C-V기술화타원편진광보측시기술대Al2O3개질층적표정증명,제료박막층중적부고정전하,Al2O3개질층적H적함량재둔화효과중기착관건작용.
