压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
2013年
5期
716-718
,共3页
张洪波%王文君%秦超%张巧真%张继华
張洪波%王文君%秦超%張巧真%張繼華
장홍파%왕문군%진초%장교진%장계화
BNST薄膜%射频磁控溅射%高频应用%介电性能
BNST薄膜%射頻磁控濺射%高頻應用%介電性能
BNST박막%사빈자공천사%고빈응용%개전성능
BNST film%RF magnetron sputtering%high frequency application%dielectric properties
在制作完底电极的LaAlO3(100)衬底上,利用磁控溅射法制备了一层BaO-Nd2O3-Sm2O3-TiO2(BNST)系薄膜,再对薄膜进行退火处理.X线衍射仪(XRD)分析表明,经退火处理的BNST薄膜结晶效果良好.采用薄膜电容结构来实现电容的测量,主要研究了BNST薄膜电容的频率特性.阻抗分析测试和矢量网络分析测试表明,在测试频率为1 MHz时,介电常数为58.3,介电损耗小于2％;在1 GHz的测试频率下,介电常数为57.5,介电损耗小于3％.研究表明,制备的BNST薄膜的频率特性稳定,基本满足微波频率下使用的要求.
在製作完底電極的LaAlO3(100)襯底上,利用磁控濺射法製備瞭一層BaO-Nd2O3-Sm2O3-TiO2(BNST)繫薄膜,再對薄膜進行退火處理.X線衍射儀(XRD)分析錶明,經退火處理的BNST薄膜結晶效果良好.採用薄膜電容結構來實現電容的測量,主要研究瞭BNST薄膜電容的頻率特性.阻抗分析測試和矢量網絡分析測試錶明,在測試頻率為1 MHz時,介電常數為58.3,介電損耗小于2％;在1 GHz的測試頻率下,介電常數為57.5,介電損耗小于3％.研究錶明,製備的BNST薄膜的頻率特性穩定,基本滿足微波頻率下使用的要求.
재제작완저전겁적LaAlO3(100)츤저상,이용자공천사법제비료일층BaO-Nd2O3-Sm2O3-TiO2(BNST)계박막,재대박막진행퇴화처리.X선연사의(XRD)분석표명,경퇴화처리적BNST박막결정효과량호.채용박막전용결구래실현전용적측량,주요연구료BNST박막전용적빈솔특성.조항분석측시화시량망락분석측시표명,재측시빈솔위1 MHz시,개전상수위58.3,개전손모소우2％;재1 GHz적측시빈솔하,개전상수위57.5,개전손모소우3％.연구표명,제비적BNST박막적빈솔특성은정,기본만족미파빈솔하사용적요구.
