压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
2013年
5期
706-710
,共5页
于佳琪%何常德%张永平%苗静%李玉平%薛晨阳%张文栋
于佳琪%何常德%張永平%苗靜%李玉平%薛晨暘%張文棟
우가기%하상덕%장영평%묘정%리옥평%설신양%장문동
电容式超声传感器%微机电系统(MEMS)%阳极键合%ANSYS%工艺流程
電容式超聲傳感器%微機電繫統(MEMS)%暘極鍵閤%ANSYS%工藝流程
전용식초성전감기%미궤전계통(MEMS)%양겁건합%ANSYS%공예류정
capacitive ultrasonic transducer%MEMS%anodic bonding technology%ANSYS%process flow
在传统的电容式超声传感器(CMUT)制造过程中,用低压化学气相淀积技术形成的氮化硅薄膜残余应力大且机械性能难以预知.为此,设计了一种基于阳极键合技术的CMUT,传感器薄膜和空腔分别定义在均匀性好、残余应力低的SOI片和玻璃片上.建立了一个简化的分析模型对该结构进行机械性能分析,采用有限元分析软件ANSYS仿真验证该所建立的分析模型并预估传感器的性能.利用ANSYS静电-结构耦合仿真给出了塌陷电压.介绍了敏感单元的工艺流程.所设计的传感器频率为1.48 MHz,灵敏度为0.24 fF/Pa,塌陷电压为70 V,量程为48 kPa.
在傳統的電容式超聲傳感器(CMUT)製造過程中,用低壓化學氣相澱積技術形成的氮化硅薄膜殘餘應力大且機械性能難以預知.為此,設計瞭一種基于暘極鍵閤技術的CMUT,傳感器薄膜和空腔分彆定義在均勻性好、殘餘應力低的SOI片和玻璃片上.建立瞭一箇簡化的分析模型對該結構進行機械性能分析,採用有限元分析軟件ANSYS倣真驗證該所建立的分析模型併預估傳感器的性能.利用ANSYS靜電-結構耦閤倣真給齣瞭塌陷電壓.介紹瞭敏感單元的工藝流程.所設計的傳感器頻率為1.48 MHz,靈敏度為0.24 fF/Pa,塌陷電壓為70 V,量程為48 kPa.
재전통적전용식초성전감기(CMUT)제조과정중,용저압화학기상정적기술형성적담화규박막잔여응력대차궤계성능난이예지.위차,설계료일충기우양겁건합기술적CMUT,전감기박막화공강분별정의재균균성호、잔여응력저적SOI편화파리편상.건립료일개간화적분석모형대해결구진행궤계성능분석,채용유한원분석연건ANSYS방진험증해소건립적분석모형병예고전감기적성능.이용ANSYS정전-결구우합방진급출료탑함전압.개소료민감단원적공예류정.소설계적전감기빈솔위1.48 MHz,령민도위0.24 fF/Pa,탑함전압위70 V,량정위48 kPa.
