高技术通讯
高技術通訊
고기술통신
HIGH TECHNOLOGY LETTERS
2013年
9期
946-950
,共5页
袁帅%刘继飞%侯静%刘连庆%董再励
袁帥%劉繼飛%侯靜%劉連慶%董再勵
원수%류계비%후정%류련경%동재려
原子力显微镜(AFM)%数学形态学%探针建模%纳米操作
原子力顯微鏡(AFM)%數學形態學%探針建模%納米操作
원자력현미경(AFM)%수학형태학%탐침건모%납미조작
atom force microscopy (AFM)%morphology%tip estimation%nano-manipulation
考虑到在原子力显微镜扫描成像过程中,由于探针针尖形貌和样品表面的卷积作用,使得样品形貌在扫描图像中的形状“展宽”,严重影响了原子力成像的质量,进行了重构探针形貌,然后使用反卷积的方法降低扫描图像中探针展宽效应的研究.分析了目前常用的探针建模方法——盲建模算法,该方法不需要已知表面形貌的样品薄膜(如多孔铝薄膜)来标定探针形貌,但会使降噪参数对探针建模结果产生很大影响,并且标定薄膜的表面也容易被污染,这样就降低了该方法的使用效率.针对这些问题,提出基于数学形态学的建模方法,即通过在平整的表面上沉积规则球型纳米颗粒对探针模型建模,然后重构扫描图像.通过仿真与实验结果验证了该方法的有效性.
攷慮到在原子力顯微鏡掃描成像過程中,由于探針針尖形貌和樣品錶麵的捲積作用,使得樣品形貌在掃描圖像中的形狀“展寬”,嚴重影響瞭原子力成像的質量,進行瞭重構探針形貌,然後使用反捲積的方法降低掃描圖像中探針展寬效應的研究.分析瞭目前常用的探針建模方法——盲建模算法,該方法不需要已知錶麵形貌的樣品薄膜(如多孔鋁薄膜)來標定探針形貌,但會使降譟參數對探針建模結果產生很大影響,併且標定薄膜的錶麵也容易被汙染,這樣就降低瞭該方法的使用效率.針對這些問題,提齣基于數學形態學的建模方法,即通過在平整的錶麵上沉積規則毬型納米顆粒對探針模型建模,然後重構掃描圖像.通過倣真與實驗結果驗證瞭該方法的有效性.
고필도재원자력현미경소묘성상과정중,유우탐침침첨형모화양품표면적권적작용,사득양품형모재소묘도상중적형상“전관”,엄중영향료원자력성상적질량,진행료중구탐침형모,연후사용반권적적방법강저소묘도상중탐침전관효응적연구.분석료목전상용적탐침건모방법——맹건모산법,해방법불수요이지표면형모적양품박막(여다공려박막)래표정탐침형모,단회사강조삼수대탐침건모결과산생흔대영향,병차표정박막적표면야용역피오염,저양취강저료해방법적사용효솔.침대저사문제,제출기우수학형태학적건모방법,즉통과재평정적표면상침적규칙구형납미과립대탐침모형건모,연후중구소묘도상.통과방진여실험결과험증료해방법적유효성.
