仪表技术与传感器
儀錶技術與傳感器
의표기술여전감기
INSTRUMENT TECHNIQUE AND SENSOR
2013年
9期
28-31
,共4页
崔廷%沈小燕%林杰俊%李东升
崔廷%瀋小燕%林傑俊%李東升
최정%침소연%림걸준%리동승
气动测量%差压式气动传感器%微纳米级%气动测微仪
氣動測量%差壓式氣動傳感器%微納米級%氣動測微儀
기동측량%차압식기동전감기%미납미급%기동측미의
pneumatic gauging%pneumatic sensor with differential pressure type%micro-nano level%pneumatic micro-displacement measuring instrument
根据差压式气动测量原理,设计了一种微纳米级气动传感器,并通过硬件电路设计、软件系统开发研制了智能型非接触式气动测微仪.通过软件调零及误差补偿技术,达到了气动传感器非接触线性测量的目的.结果表明:气动传感器分辨力0.2 μm,线性度2％,回程误差0.7％,灵敏度0.65 kPa/μm;仪器在0～80 μm的测量范围内最大示值误差为0.3m,回程误差为0.25 μm.该智能型测微仪在一定程度上能应用在高精度微纳米检测场合中.
根據差壓式氣動測量原理,設計瞭一種微納米級氣動傳感器,併通過硬件電路設計、軟件繫統開髮研製瞭智能型非接觸式氣動測微儀.通過軟件調零及誤差補償技術,達到瞭氣動傳感器非接觸線性測量的目的.結果錶明:氣動傳感器分辨力0.2 μm,線性度2％,迴程誤差0.7％,靈敏度0.65 kPa/μm;儀器在0～80 μm的測量範圍內最大示值誤差為0.3m,迴程誤差為0.25 μm.該智能型測微儀在一定程度上能應用在高精度微納米檢測場閤中.
근거차압식기동측량원리,설계료일충미납미급기동전감기,병통과경건전로설계、연건계통개발연제료지능형비접촉식기동측미의.통과연건조령급오차보상기술,체도료기동전감기비접촉선성측량적목적.결과표명:기동전감기분변력0.2 μm,선성도2％,회정오차0.7％,령민도0.65 kPa/μm;의기재0～80 μm적측량범위내최대시치오차위0.3m,회정오차위0.25 μm.해지능형측미의재일정정도상능응용재고정도미납미검측장합중.
