机械工程学报
機械工程學報
궤계공정학보
CHINESE JOURNAL OF MECHANICAL ENGINEERING
2013年
18期
85-91
,共7页
陈晓辉%刘晓军%赵华东%张军%卢文龙
陳曉輝%劉曉軍%趙華東%張軍%盧文龍
진효휘%류효군%조화동%장군%로문룡
微机电系统微结构%三维自动拼接%白光垂直扫描显微镜%尺度不变特征变换
微機電繫統微結構%三維自動拼接%白光垂直掃描顯微鏡%呎度不變特徵變換
미궤전계통미결구%삼유자동병접%백광수직소묘현미경%척도불변특정변환
Micro electro mechanical systems(MEMS) microstructure%Automatic three-dimonsional(3D) stitching%White-light vertical scanning interference microscopy(WVSIM)%Scale invariant feature transform(SIFT)
提出一种基于白光垂直扫描显微镜(White-light vertical scanning interference microscopy,WVSIM)的微机电系统(Micro electro mechanical systems,MEMS)微结构三维自动拼接方法,来获得包含完整MEMS信息的大视场、高分辨率的MEMS微结构显微图像,以满足MEMS微结构功能特征分析、评定的需要.通过分析白光垂直扫描显微成像原理,将MEMS微结构显微图像的三维拼接分解为x-y向拼接与z向高度校正.将二维图像配准的尺度不变特征变换特征匹配算法应用到MEMS微结构显微图像的三维拼接中,实现MEMS微结构显微图像的智能、鲁棒三维自动拼接.试验表明,该方法不需要超高精度的硬件,解决了任意形状MEMS微结构显微图像的高精度三维自动拼接问题.横向拼接精度可达0.8 μm,纵向拼接精度小于lnm.
提齣一種基于白光垂直掃描顯微鏡(White-light vertical scanning interference microscopy,WVSIM)的微機電繫統(Micro electro mechanical systems,MEMS)微結構三維自動拼接方法,來穫得包含完整MEMS信息的大視場、高分辨率的MEMS微結構顯微圖像,以滿足MEMS微結構功能特徵分析、評定的需要.通過分析白光垂直掃描顯微成像原理,將MEMS微結構顯微圖像的三維拼接分解為x-y嚮拼接與z嚮高度校正.將二維圖像配準的呎度不變特徵變換特徵匹配算法應用到MEMS微結構顯微圖像的三維拼接中,實現MEMS微結構顯微圖像的智能、魯棒三維自動拼接.試驗錶明,該方法不需要超高精度的硬件,解決瞭任意形狀MEMS微結構顯微圖像的高精度三維自動拼接問題.橫嚮拼接精度可達0.8 μm,縱嚮拼接精度小于lnm.
제출일충기우백광수직소묘현미경(White-light vertical scanning interference microscopy,WVSIM)적미궤전계통(Micro electro mechanical systems,MEMS)미결구삼유자동병접방법,래획득포함완정MEMS신식적대시장、고분변솔적MEMS미결구현미도상,이만족MEMS미결구공능특정분석、평정적수요.통과분석백광수직소묘현미성상원리,장MEMS미결구현미도상적삼유병접분해위x-y향병접여z향고도교정.장이유도상배준적척도불변특정변환특정필배산법응용도MEMS미결구현미도상적삼유병접중,실현MEMS미결구현미도상적지능、로봉삼유자동병접.시험표명,해방법불수요초고정도적경건,해결료임의형상MEMS미결구현미도상적고정도삼유자동병접문제.횡향병접정도가체0.8 μm,종향병접정도소우lnm.
