制造技术与机床
製造技術與機床
제조기술여궤상
MANUFACTURING TECHNOLOGY & MACHINE TOOL
2013年
10期
74-77
,共4页
吴沿鹏%杨炜%叶卉%胡陈林
吳沿鵬%楊煒%葉卉%鬍陳林
오연붕%양위%협훼%호진림
光学元件%磨削%抛光%亚表面损伤%蚀刻%检测
光學元件%磨削%拋光%亞錶麵損傷%蝕刻%檢測
광학원건%마삭%포광%아표면손상%식각%검측
Optical Elements%Grinding%Polishing%Subsurface Damage%Etching
根据化学蚀刻法,提出了一种光学元件亚表面损伤的检测方法,分别观测了磨削和抛光后K9玻璃蚀刻后的亚表面损伤.研究表明:光学元件磨削亚表面损伤在光学显微镜下的表现形式为弹坑状缺陷和脆性裂纹；光学元件抛光后也产生了亚表面缺陷,其在AFM下的表现形式为细长条纹状划痕.
根據化學蝕刻法,提齣瞭一種光學元件亞錶麵損傷的檢測方法,分彆觀測瞭磨削和拋光後K9玻璃蝕刻後的亞錶麵損傷.研究錶明:光學元件磨削亞錶麵損傷在光學顯微鏡下的錶現形式為彈坑狀缺陷和脆性裂紋；光學元件拋光後也產生瞭亞錶麵缺陷,其在AFM下的錶現形式為細長條紋狀劃痕.
근거화학식각법,제출료일충광학원건아표면손상적검측방법,분별관측료마삭화포광후K9파리식각후적아표면손상.연구표명:광학원건마삭아표면손상재광학현미경하적표현형식위탄갱상결함화취성렬문；광학원건포광후야산생료아표면결함,기재AFM하적표현형식위세장조문상화흔.
