包装学报
包裝學報
포장학보
PACKAGING JOURNAL
2013年
2期
26-29
,共4页
磁控溅射%PET%SiO2薄膜%工艺参数%结合强度
磁控濺射%PET%SiO2薄膜%工藝參數%結閤彊度
자공천사%PET%SiO2박막%공예삼수%결합강도
采用磁控溅射工艺制备了SiO2/PET包装膜,研究了射频功率、溅射时间、本底真空度和氩气流量等工艺参数对膜结合强度的影响.结果表明:随着射频功率、氩气流量的增大和溅射时间的增加,膜的结合强度均呈现出先增大后减小的变化趋势；本底真空度越高,薄膜的结合强度越大；所设的4个工艺参数中,溅射时间对薄膜结合强度的影响最大,射频功率次之,本底真空度和氩气流量的影响最小.
採用磁控濺射工藝製備瞭SiO2/PET包裝膜,研究瞭射頻功率、濺射時間、本底真空度和氬氣流量等工藝參數對膜結閤彊度的影響.結果錶明:隨著射頻功率、氬氣流量的增大和濺射時間的增加,膜的結閤彊度均呈現齣先增大後減小的變化趨勢；本底真空度越高,薄膜的結閤彊度越大；所設的4箇工藝參數中,濺射時間對薄膜結閤彊度的影響最大,射頻功率次之,本底真空度和氬氣流量的影響最小.
채용자공천사공예제비료SiO2/PET포장막,연구료사빈공솔、천사시간、본저진공도화아기류량등공예삼수대막결합강도적영향.결과표명:수착사빈공솔、아기류량적증대화천사시간적증가,막적결합강도균정현출선증대후감소적변화추세；본저진공도월고,박막적결합강도월대；소설적4개공예삼수중,천사시간대박막결합강도적영향최대,사빈공솔차지,본저진공도화아기류량적영향최소.
