人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2012年
5期
1463-1467
,共5页
袁长路%李杰%于旭东%束天和%汤平%程绪高%周伟%李留臣
袁長路%李傑%于旭東%束天和%湯平%程緒高%週偉%李留臣
원장로%리걸%우욱동%속천화%탕평%정서고%주위%리류신
蓝宝石%称重系统%KY泡生法%晶体生长炉
藍寶石%稱重繫統%KY泡生法%晶體生長爐
람보석%칭중계통%KY포생법%정체생장로
本文主要介绍采用冷心放肩微量提拉法技术生长高质量大尺寸蓝宝石晶体的新型设备,由于晶体生长是在高温、高真空、籽晶升降与旋转平稳、晶体测重精准、功率稳定的状态下进行生长.所以我们配备了具有高冷却性能的腔体部件；大抽速,低反油率的高真空系统；无抖动、无爬行籽晶轴(俗称:籽晶热交换器)升降及旋转系统；高精度、高分辨率测重系统；稳定可靠的电控系统及电源加热系统.实验结果表明:设备简化的设计模式,不仅提高了工人的操作速度,操作更加简单,节约了劳动时间,提高了设备的利用率.优良的测重系统在早期晶种生长的好坏,有这很大的关系；解决晶体是否粘埚也起着很大的作用.电控系统对加热电源的稳定控制是能否生长高质量大尺寸晶体关键之一.
本文主要介紹採用冷心放肩微量提拉法技術生長高質量大呎吋藍寶石晶體的新型設備,由于晶體生長是在高溫、高真空、籽晶升降與鏇轉平穩、晶體測重精準、功率穩定的狀態下進行生長.所以我們配備瞭具有高冷卻性能的腔體部件；大抽速,低反油率的高真空繫統；無抖動、無爬行籽晶軸(俗稱:籽晶熱交換器)升降及鏇轉繫統；高精度、高分辨率測重繫統；穩定可靠的電控繫統及電源加熱繫統.實驗結果錶明:設備簡化的設計模式,不僅提高瞭工人的操作速度,操作更加簡單,節約瞭勞動時間,提高瞭設備的利用率.優良的測重繫統在早期晶種生長的好壞,有這很大的關繫；解決晶體是否粘堝也起著很大的作用.電控繫統對加熱電源的穩定控製是能否生長高質量大呎吋晶體關鍵之一.
본문주요개소채용랭심방견미량제랍법기술생장고질량대척촌람보석정체적신형설비,유우정체생장시재고온、고진공、자정승강여선전평은、정체측중정준、공솔은정적상태하진행생장.소이아문배비료구유고냉각성능적강체부건；대추속,저반유솔적고진공계통；무두동、무파행자정축(속칭:자정열교환기)승강급선전계통；고정도、고분변솔측중계통；은정가고적전공계통급전원가열계통.실험결과표명:설비간화적설계모식,불부제고료공인적조작속도,조작경가간단,절약료노동시간,제고료설비적이용솔.우량적측중계통재조기정충생장적호배,유저흔대적관계；해결정체시부점과야기착흔대적작용.전공계통대가열전원적은정공제시능부생장고질량대척촌정체관건지일.
