人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2012年
5期
1280-1285
,共6页
朱华%况慧芸%冯晓炜%万文琼
硃華%況慧蕓%馮曉煒%萬文瓊
주화%황혜예%풍효위%만문경
ZnO∶N薄膜%透射率%磁控溅射
ZnO∶N薄膜%透射率%磁控濺射
ZnO∶N박막%투사솔%자공천사
运用射频磁控溅射技术,改变氩、氮流量比(9/1 ～ 9/4)在玻璃衬底上获得ZnO∶N样品,采用XRD、紫外-可见分光光度计、傅里叶红外光谱仪及SEM对薄膜微结构和光学性能表征.结果发现∶N流量小,样品XRD峰强小,峰位不明显,紫外可见光光谱在320 ～780 nm波长区间透射率变化小；随着N流量的增加,样品XRD有(002)强单峰出现,在400 nm波长以下透射率急剧下降；当氩氮流量达到9/4,样品XRD出现双峰,紫外光透射率无明显变化.
運用射頻磁控濺射技術,改變氬、氮流量比(9/1 ～ 9/4)在玻璃襯底上穫得ZnO∶N樣品,採用XRD、紫外-可見分光光度計、傅裏葉紅外光譜儀及SEM對薄膜微結構和光學性能錶徵.結果髮現∶N流量小,樣品XRD峰彊小,峰位不明顯,紫外可見光光譜在320 ～780 nm波長區間透射率變化小；隨著N流量的增加,樣品XRD有(002)彊單峰齣現,在400 nm波長以下透射率急劇下降；噹氬氮流量達到9/4,樣品XRD齣現雙峰,紫外光透射率無明顯變化.
운용사빈자공천사기술,개변아、담류량비(9/1 ～ 9/4)재파리츤저상획득ZnO∶N양품,채용XRD、자외-가견분광광도계、부리협홍외광보의급SEM대박막미결구화광학성능표정.결과발현∶N류량소,양품XRD봉강소,봉위불명현,자외가견광광보재320 ～780 nm파장구간투사솔변화소；수착N류량적증가,양품XRD유(002)강단봉출현,재400 nm파장이하투사솔급극하강；당아담류량체도9/4,양품XRD출현쌍봉,자외광투사솔무명현변화.
