人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2012年
5期
1270-1275
,共6页
陈光羽%何延如%雷志芳%谷士斌%赵冠超%杨荣%孟原%郭铁%李立伟
陳光羽%何延如%雷誌芳%穀士斌%趙冠超%楊榮%孟原%郭鐵%李立偉
진광우%하연여%뢰지방%곡사빈%조관초%양영%맹원%곽철%리립위
掺铝氧化锌薄膜%磁控溅射%粗糙度%短路电流密度
摻鋁氧化鋅薄膜%磁控濺射%粗糙度%短路電流密度
참려양화자박막%자공천사%조조도%단로전류밀도
采用磁控溅射结合酸腐蚀法制备掺铝氧化锌透明导电氧化物薄膜,研究关键溅射工艺参数对AZO薄膜腐蚀后性能的影响.研究发现,在较低沉积温度和较大溅射压强条件下,样品腐蚀后可以形成粗糙度和雾度更大的表面形貌,有利于提高电池性能；而溅射功率增加,虽然能提升样品腐蚀后的粗糙度,但雾度的增加则呈现饱和趋势.将具有优良光电性能、不同雾度的AZO薄膜作为前电极制备非晶/微晶硅薄膜双结太阳能电池,发现雾度越大,电池的短路电流密度越大,特别是底电池电流密度越大,从而电池的光电转换效率也获得提高.这一发现有助于通过优化溅射工艺参数来改进AZO薄膜表面形貌和电池性能.
採用磁控濺射結閤痠腐蝕法製備摻鋁氧化鋅透明導電氧化物薄膜,研究關鍵濺射工藝參數對AZO薄膜腐蝕後性能的影響.研究髮現,在較低沉積溫度和較大濺射壓彊條件下,樣品腐蝕後可以形成粗糙度和霧度更大的錶麵形貌,有利于提高電池性能；而濺射功率增加,雖然能提升樣品腐蝕後的粗糙度,但霧度的增加則呈現飽和趨勢.將具有優良光電性能、不同霧度的AZO薄膜作為前電極製備非晶/微晶硅薄膜雙結太暘能電池,髮現霧度越大,電池的短路電流密度越大,特彆是底電池電流密度越大,從而電池的光電轉換效率也穫得提高.這一髮現有助于通過優化濺射工藝參數來改進AZO薄膜錶麵形貌和電池性能.
채용자공천사결합산부식법제비참려양화자투명도전양화물박막,연구관건천사공예삼수대AZO박막부식후성능적영향.연구발현,재교저침적온도화교대천사압강조건하,양품부식후가이형성조조도화무도경대적표면형모,유리우제고전지성능；이천사공솔증가,수연능제승양품부식후적조조도,단무도적증가칙정현포화추세.장구유우량광전성능、불동무도적AZO박막작위전전겁제비비정/미정규박막쌍결태양능전지,발현무도월대,전지적단로전류밀도월대,특별시저전지전류밀도월대,종이전지적광전전환효솔야획득제고.저일발현유조우통과우화천사공예삼수래개진AZO박막표면형모화전지성능.
