航空精密制造技术
航空精密製造技術
항공정밀제조기술
AVIATION PRECISION MANUFACTURING TECHNOLOGY
2012年
6期
10-12,17
,共4页
冯殊瑞%解旭辉%周林%袁征
馮殊瑞%解旭輝%週林%袁徵
풍수서%해욱휘%주림%원정
KDP晶体%离子束%粗糙度
KDP晶體%離子束%粗糙度
KDP정체%리자속%조조도
针对KDP晶体材料在离子束加工时晶体表面粗糙度变化情况进行了研究,研究了束电压和束电流的大小对KDP晶体表面粗糙度的影响,采用PSD功率谱分析方法探究了KDP晶体在离子束加工前后表面粗糙度频域分布及其演变情况,研究结果表明KDP晶体表面粗糙度的变化不仅与加工工艺参数有关还与材料本身性质有关,在采用较大入射角时可以使晶体表面的高频段误差得到改善.
針對KDP晶體材料在離子束加工時晶體錶麵粗糙度變化情況進行瞭研究,研究瞭束電壓和束電流的大小對KDP晶體錶麵粗糙度的影響,採用PSD功率譜分析方法探究瞭KDP晶體在離子束加工前後錶麵粗糙度頻域分佈及其縯變情況,研究結果錶明KDP晶體錶麵粗糙度的變化不僅與加工工藝參數有關還與材料本身性質有關,在採用較大入射角時可以使晶體錶麵的高頻段誤差得到改善.
침대KDP정체재료재리자속가공시정체표면조조도변화정황진행료연구,연구료속전압화속전류적대소대KDP정체표면조조도적영향,채용PSD공솔보분석방법탐구료KDP정체재리자속가공전후표면조조도빈역분포급기연변정황,연구결과표명KDP정체표면조조도적변화불부여가공공예삼수유관환여재료본신성질유관,재채용교대입사각시가이사정체표면적고빈단오차득도개선.
