电子工业专用设备
電子工業專用設備
전자공업전용설비
EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
2012年
4期
40-42
,共3页
超高压汞灯%恒功率控制%模拟乘法器%传感器
超高壓汞燈%恆功率控製%模擬乘法器%傳感器
초고압홍등%항공솔공제%모의승법기%전감기
Super-high pressure mercury lamp%Constant power control%Analogue multiplier%Sensor
介绍了一种光刻机超高压汞灯电源,采用模拟功率反馈控制,有效提高了光源稳定性;重点阐述了恒功率控制的原理和主要电路结构。
介紹瞭一種光刻機超高壓汞燈電源,採用模擬功率反饋控製,有效提高瞭光源穩定性;重點闡述瞭恆功率控製的原理和主要電路結構。
개소료일충광각궤초고압홍등전원,채용모의공솔반궤공제,유효제고료광원은정성;중점천술료항공솔공제적원리화주요전로결구。
A super-high pressure mercury lamp power of mask aligner is introduced in this paper,using analogue power feedback control,effectively improving power stability.The principle and major circuit structure of constant power control are emphatically expounded in this paper.
