电子工业专用设备
電子工業專用設備
전자공업전용설비
EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
2012年
4期
20-23
,共4页
毛朝斌%陈特超%李克%林伯奇
毛朝斌%陳特超%李剋%林伯奇
모조빈%진특초%리극%림백기
串级控制%扩散炉%PID
串級控製%擴散爐%PID
천급공제%확산로%PID
Cascade control%Diffusion furnace%PID
介绍了一种用于太阳能电池高阻扩散工艺的扩散炉温度控制系统,该系统结构简单,控制效果良好,能满足60Ω以上高阻的生产要求。
介紹瞭一種用于太暘能電池高阻擴散工藝的擴散爐溫度控製繫統,該繫統結構簡單,控製效果良好,能滿足60Ω以上高阻的生產要求。
개소료일충용우태양능전지고조확산공예적확산로온도공제계통,해계통결구간단,공제효과량호,능만족60Ω이상고조적생산요구。
The system of temperature control for diffusion furnace has been introduced in this paper,which is used for solar cell diffusion process.This system is simple in structure and good control result.It can satisfy produc-tion requirements for the above 60 Ω high resistance.
