光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2014年
3期
656-663
,共8页
黄强先%尤焕杰%袁丹%赵阳%胡小娟
黃彊先%尤煥傑%袁丹%趙暘%鬍小娟
황강선%우환걸%원단%조양%호소연
原子力显微镜(AFM)%硅悬臂梁%高阶谐振%扫描速度
原子力顯微鏡(AFM)%硅懸臂樑%高階諧振%掃描速度
원자력현미경(AFM)%규현비량%고계해진%소묘속도
Atomic Force Microscope (AFM)%silicon cantilever%higher-order resonance%scanning speed
利用原子力显微镜(AFM)硅悬臂器件具有多阶谐振模态的特性,提出了基于硅悬臂高阶谐振特性构建动态AFM来实现快速扫描的方法,并研制了可工作于一阶模态和高阶模态的AFM.介绍了高阶谐振AFM系统的基本结构和工作原理,从理论上证明了利用硅悬臂梁高阶谐振特性实现快速扫描的可行性.以自制的AFM为研究对象,分析了影响动态AFM扫描速度的主要因素,对系统各模块的响应时间进行了分析、测试,并通过实验证明了AFM在二阶谐振模态下的稳定时间明显小于一阶谐振模态下的稳定时间.最后,分别用一阶、二阶谐振模态对光栅试样在同一区域的表面形貌进行了扫描测试,测试数据表明:在相同条件下,AFM的扫描速度在二阶谐振模态下约是一阶模态下的3.3倍.理论分析和实验结果证明了利用高阶谐振探针提高AFM扫描速度的可行性和有效性.
利用原子力顯微鏡(AFM)硅懸臂器件具有多階諧振模態的特性,提齣瞭基于硅懸臂高階諧振特性構建動態AFM來實現快速掃描的方法,併研製瞭可工作于一階模態和高階模態的AFM.介紹瞭高階諧振AFM繫統的基本結構和工作原理,從理論上證明瞭利用硅懸臂樑高階諧振特性實現快速掃描的可行性.以自製的AFM為研究對象,分析瞭影響動態AFM掃描速度的主要因素,對繫統各模塊的響應時間進行瞭分析、測試,併通過實驗證明瞭AFM在二階諧振模態下的穩定時間明顯小于一階諧振模態下的穩定時間.最後,分彆用一階、二階諧振模態對光柵試樣在同一區域的錶麵形貌進行瞭掃描測試,測試數據錶明:在相同條件下,AFM的掃描速度在二階諧振模態下約是一階模態下的3.3倍.理論分析和實驗結果證明瞭利用高階諧振探針提高AFM掃描速度的可行性和有效性.
이용원자력현미경(AFM)규현비기건구유다계해진모태적특성,제출료기우규현비고계해진특성구건동태AFM래실현쾌속소묘적방법,병연제료가공작우일계모태화고계모태적AFM.개소료고계해진AFM계통적기본결구화공작원리,종이론상증명료이용규현비량고계해진특성실현쾌속소묘적가행성.이자제적AFM위연구대상,분석료영향동태AFM소묘속도적주요인소,대계통각모괴적향응시간진행료분석、측시,병통과실험증명료AFM재이계해진모태하적은정시간명현소우일계해진모태하적은정시간.최후,분별용일계、이계해진모태대광책시양재동일구역적표면형모진행료소묘측시,측시수거표명:재상동조건하,AFM적소묘속도재이계해진모태하약시일계모태하적3.3배.이론분석화실험결과증명료이용고계해진탐침제고AFM소묘속도적가행성화유효성.
