南京邮电大学学报（自然科学版）
南京郵電大學學報（自然科學版）
남경유전대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF NANJING UNIVERSITY OF POSTS AND TELECOMMUNICATIONS(NATURAL SCIENCE)
2012年
5期
153-158
,共6页
金属有机物化学气相沉积%稀磁半导体%团簇
金屬有機物化學氣相沉積%稀磁半導體%糰簇
금속유궤물화학기상침적%희자반도체%단족
用金属有机物化学气相沉积(MOCVD)技术生长出不同Fe掺杂浓度的GaN薄膜,并对其微观结构、表面形貌以及磁学性能进行了研究.对于低掺杂浓度的Fe掺杂GaN样品,X射线衍射和高分辨透射电镜均没有发现其他相物质存在；对于高浓度掺杂的样品,X射线衍射探测到了Fe单质和Fe3N存在.通过高分辨透射电镜图像,观察到了晶格中的Fe3N纳米团簇,并且发现团簇以Fe3N[0002]晶轴平行于GaN[0002]晶轴的方式存在于GaN晶格之中.同时,随着掺杂浓度的增高,薄膜表面粗糙度增加.磁学测量表明,不同掺杂浓度的样品都显现出明显的室温铁磁性.
用金屬有機物化學氣相沉積(MOCVD)技術生長齣不同Fe摻雜濃度的GaN薄膜,併對其微觀結構、錶麵形貌以及磁學性能進行瞭研究.對于低摻雜濃度的Fe摻雜GaN樣品,X射線衍射和高分辨透射電鏡均沒有髮現其他相物質存在；對于高濃度摻雜的樣品,X射線衍射探測到瞭Fe單質和Fe3N存在.通過高分辨透射電鏡圖像,觀察到瞭晶格中的Fe3N納米糰簇,併且髮現糰簇以Fe3N[0002]晶軸平行于GaN[0002]晶軸的方式存在于GaN晶格之中.同時,隨著摻雜濃度的增高,薄膜錶麵粗糙度增加.磁學測量錶明,不同摻雜濃度的樣品都顯現齣明顯的室溫鐵磁性.
용금속유궤물화학기상침적(MOCVD)기술생장출불동Fe참잡농도적GaN박막,병대기미관결구、표면형모이급자학성능진행료연구.대우저참잡농도적Fe참잡GaN양품,X사선연사화고분변투사전경균몰유발현기타상물질존재；대우고농도참잡적양품,X사선연사탐측도료Fe단질화Fe3N존재.통과고분변투사전경도상,관찰도료정격중적Fe3N납미단족,병차발현단족이Fe3N[0002]정축평행우GaN[0002]정축적방식존재우GaN정격지중.동시,수착참잡농도적증고,박막표면조조도증가.자학측량표명,불동참잡농도적양품도현현출명현적실온철자성.
