应用光学
應用光學
응용광학
JOURNAL OF APPLIED OPTICS
2012年
6期
1128-1132
,共5页
刘青龙%杨崇民%张建付%米高园%韩俊%金柯
劉青龍%楊崇民%張建付%米高園%韓俊%金柯
류청룡%양숭민%장건부%미고완%한준%금가
光学膜层厚度%大曲率光学零件%数值计算
光學膜層厚度%大麯率光學零件%數值計算
광학막층후도%대곡솔광학령건%수치계산
为了对沉积在大曲率球面零件表面的光学膜厚分布进行理论分析计算,首先确定了工艺配置,然后通过数学建模确定出计算函数式,最后通过数值积分分别对蒸发源为点源(n=0)和蒸发源为面源(n=1,2)进行了计算.计算结果与实验结果比较后表明:在本文确定的工艺条件下,n=2时计算结果与实验结果比较吻合.证明采用本文设计的建模方法结合恰当的蒸发源发射特性,通过数值计算,完全可以对大曲率球面零件的膜厚分布进行计算.
為瞭對沉積在大麯率毬麵零件錶麵的光學膜厚分佈進行理論分析計算,首先確定瞭工藝配置,然後通過數學建模確定齣計算函數式,最後通過數值積分分彆對蒸髮源為點源(n=0)和蒸髮源為麵源(n=1,2)進行瞭計算.計算結果與實驗結果比較後錶明:在本文確定的工藝條件下,n=2時計算結果與實驗結果比較吻閤.證明採用本文設計的建模方法結閤恰噹的蒸髮源髮射特性,通過數值計算,完全可以對大麯率毬麵零件的膜厚分佈進行計算.
위료대침적재대곡솔구면령건표면적광학막후분포진행이론분석계산,수선학정료공예배치,연후통과수학건모학정출계산함수식,최후통과수치적분분별대증발원위점원(n=0)화증발원위면원(n=1,2)진행료계산.계산결과여실험결과비교후표명:재본문학정적공예조건하,n=2시계산결과여실험결과비교문합.증명채용본문설계적건모방법결합흡당적증발원발사특성,통과수치계산,완전가이대대곡솔구면령건적막후분포진행계산.
