应用光学
應用光學
응용광학
JOURNAL OF APPLIED OPTICS
2012年
6期
1123-1127
,共5页
楔形镜%组合楔板工装%超光滑表面
楔形鏡%組閤楔闆工裝%超光滑錶麵
설형경%조합설판공장%초광활표면
对两个通光面均为超光滑表面的双面对称角度楔形镜的加工提出了一种新工艺方法,并根据零件的特点对工艺方法进行了改进.利用组合楔板工装、粘接上盘等方式对零件进行成盘加工,不仅使零件的角度、厚度得到了很好的保证,而且还避免了光胶上盘对已加工表面的损伤,使通光面的疵病、面形、粗糙度、一致性等指标有很大的改善,超光滑表面粗糙度rms均优于0.2 nm(AFM测量),表面疵病达到0级,角度精度达到±15″,一次交检合格率达到85％以上,有效地解决了生产中的瓶颈问题.
對兩箇通光麵均為超光滑錶麵的雙麵對稱角度楔形鏡的加工提齣瞭一種新工藝方法,併根據零件的特點對工藝方法進行瞭改進.利用組閤楔闆工裝、粘接上盤等方式對零件進行成盤加工,不僅使零件的角度、厚度得到瞭很好的保證,而且還避免瞭光膠上盤對已加工錶麵的損傷,使通光麵的疵病、麵形、粗糙度、一緻性等指標有很大的改善,超光滑錶麵粗糙度rms均優于0.2 nm(AFM測量),錶麵疵病達到0級,角度精度達到±15″,一次交檢閤格率達到85％以上,有效地解決瞭生產中的瓶頸問題.
대량개통광면균위초광활표면적쌍면대칭각도설형경적가공제출료일충신공예방법,병근거령건적특점대공예방법진행료개진.이용조합설판공장、점접상반등방식대령건진행성반가공,불부사령건적각도、후도득도료흔호적보증,이차환피면료광효상반대이가공표면적손상,사통광면적자병、면형、조조도、일치성등지표유흔대적개선,초광활표면조조도rms균우우0.2 nm(AFM측량),표면자병체도0급,각도정도체도±15″,일차교검합격솔체도85％이상,유효지해결료생산중적병경문제.
