应用光学
應用光學
응용광학
JOURNAL OF APPLIED OPTICS
2012年
6期
1118-1122
,共5页
光学检测%非球面%数字波面%波像差
光學檢測%非毬麵%數字波麵%波像差
광학검측%비구면%수자파면%파상차
提出了一种快速检测浅度非球面(非球面度小于0.01 mm)的方法,该方法无需补偿器或其他辅助光学元件进行零位补偿.用移相干涉仪直接测量正轴或离轴的浅度凹非球面,剔除平移、倾斜、失焦等调整误差后,得到实际被测镜面的面形分布数据；根据正轴或离轴的浅度凹非球面矢高方程计算理想非球面的面形分布数据,得到理论波面数据,用实测的面形分布数据减去理论的面形分布数据即可得到被检非球面的剩余波像差,即面形误差.利用该方法测量了一口径为135 mm的双曲面,并用零位补偿法加以验证.两种方法的检测结果精度相当,说明数字波面法可实际应用于正轴或离轴的浅度凹非球面的检测.
提齣瞭一種快速檢測淺度非毬麵(非毬麵度小于0.01 mm)的方法,該方法無需補償器或其他輔助光學元件進行零位補償.用移相榦涉儀直接測量正軸或離軸的淺度凹非毬麵,剔除平移、傾斜、失焦等調整誤差後,得到實際被測鏡麵的麵形分佈數據；根據正軸或離軸的淺度凹非毬麵矢高方程計算理想非毬麵的麵形分佈數據,得到理論波麵數據,用實測的麵形分佈數據減去理論的麵形分佈數據即可得到被檢非毬麵的剩餘波像差,即麵形誤差.利用該方法測量瞭一口徑為135 mm的雙麯麵,併用零位補償法加以驗證.兩種方法的檢測結果精度相噹,說明數字波麵法可實際應用于正軸或離軸的淺度凹非毬麵的檢測.
제출료일충쾌속검측천도비구면(비구면도소우0.01 mm)적방법,해방법무수보상기혹기타보조광학원건진행령위보상.용이상간섭의직접측량정축혹리축적천도요비구면,척제평이、경사、실초등조정오차후,득도실제피측경면적면형분포수거；근거정축혹리축적천도요비구면시고방정계산이상비구면적면형분포수거,득도이론파면수거,용실측적면형분포수거감거이론적면형분포수거즉가득도피검비구면적잉여파상차,즉면형오차.이용해방법측량료일구경위135 mm적쌍곡면,병용령위보상법가이험증.량충방법적검측결과정도상당,설명수자파면법가실제응용우정축혹리축적천도요비구면적검측.
