CAJ | 학술논문

为了进行MCP超薄防离子反馈膜的性能评价研究,并使这种膜层具有良好离子阻挡能力,利用电子束蒸发方法,在微通道板(MCP)输入面上制备一种超薄Al2O3防离子反馈膜,其膜层厚度为2 nm时仍连续致密.通过对Al2O3防离子反馈膜的电子透过特性测试,给出2 nm及4 nm厚防离子反馈膜对应的死区电压分别约为150 V及200 V；利用Monte-Carlo法模拟分析了Al2O3防离子反馈膜的离子阻挡特性,2 nm及4 nm厚Al2O3防离子反馈膜对碳离子等的阻挡率分别高于40％及86％,另外对有无膜的MCP电特性进行测试,可以看出镀2 nm及4 nm厚的膜后,MCP电子增益分别降低了51％及81％.
위료진행MCP초박방리자반궤막적성능평개연구,병사저충막층구유량호리자조당능력,이용전자속증발방법,재미통도판(MCP)수입면상제비일충초박Al2O3방리자반궤막,기막층후도위2 nm시잉련속치밀.통과대Al2O3방리자반궤막적전자투과특성측시,급출2 nm급4 nm후방리자반궤막대응적사구전압분별약위150 V급200 V；이용Monte-Carlo법모의분석료Al2O3방리자반궤막적리자조당특성,2 nm급4 nm후Al2O3방리자반궤막대탄리자등적조당솔분별고우40％급86％,령외대유무막적MCP전특성진행측시,가이간출도2 nm급4 nm후적막후,MCP전자증익분별강저료51％급81％.