应用光学
應用光學
응용광학
JOURNAL OF APPLIED OPTICS
2012年
6期
1109-1112
,共4页
徐江涛%程耀进%闫磊%刘蓓蓓%祝婉娉%刘峰
徐江濤%程耀進%閆磊%劉蓓蓓%祝婉娉%劉峰
서강도%정요진%염뢰%류배배%축완빙%류봉
Al2O3膜%防离子反馈%MCP%电子轰击%质量污染
Al2O3膜%防離子反饋%MCP%電子轟擊%質量汙染
Al2O3막%방리자반궤%MCP%전자굉격%질량오염
为了解决防离子反馈Al2O3膜污染对三代微光管GaAs光电阴极灵敏度的影响,用四级质谱计对制管超高真空室残气、无膜微通道板(MCP)和带Al2O3膜MCP在电子轰击时的放气成份进行分析.结果表明,带Al2O3膜MCP放出有对阴极光电发射有害的C、CO、CO2、NO、H2O2和CxHY化合物,它们来源于Al2O3膜制备过程的质量污染.经过对制膜工艺质量进行改进,制备出了放气量小于2×10-9 Pa且无Cx HY化合物气体的Al2O3膜.
為瞭解決防離子反饋Al2O3膜汙染對三代微光管GaAs光電陰極靈敏度的影響,用四級質譜計對製管超高真空室殘氣、無膜微通道闆(MCP)和帶Al2O3膜MCP在電子轟擊時的放氣成份進行分析.結果錶明,帶Al2O3膜MCP放齣有對陰極光電髮射有害的C、CO、CO2、NO、H2O2和CxHY化閤物,它們來源于Al2O3膜製備過程的質量汙染.經過對製膜工藝質量進行改進,製備齣瞭放氣量小于2×10-9 Pa且無Cx HY化閤物氣體的Al2O3膜.
위료해결방리자반궤Al2O3막오염대삼대미광관GaAs광전음겁령민도적영향,용사급질보계대제관초고진공실잔기、무막미통도판(MCP)화대Al2O3막MCP재전자굉격시적방기성빈진행분석.결과표명,대Al2O3막MCP방출유대음겁광전발사유해적C、CO、CO2、NO、H2O2화CxHY화합물,타문래원우Al2O3막제비과정적질량오염.경과대제막공예질량진행개진,제비출료방기량소우2×10-9 Pa차무Cx HY화합물기체적Al2O3막.
