应用光学
應用光學
응용광학
JOURNAL OF APPLIED OPTICS
2012年
6期
1069-1072
,共4页
闫海涛%孟伟东%赵晓艳%甄志强
閆海濤%孟偉東%趙曉豔%甄誌彊
염해도%맹위동%조효염%견지강
相干光学%微位移%线阵CCD%图像分析
相榦光學%微位移%線陣CCD%圖像分析
상간광학%미위이%선진CCD%도상분석
研究了基于迈克尔逊干涉条纹对比法测量微位移的实验.用He-Ne激光器、反射镜和分束镜组成的干涉光路,其中一个反射镜固定在被测物体上,通过被测物体的移动带动反射镜移动使干涉光路发生变化,从而导致干涉条纹的改变.在形成干涉条纹的位置利用线阵CCD采集干涉条纹图像,用序列图像对比的方法对图像进行处理和计算,得出被测物体的微位移.实验表明利用序列图像对比的方法测量微位移,方法切实可行、测量准确度高、测量的精度能够达到微米量级.
研究瞭基于邁剋爾遜榦涉條紋對比法測量微位移的實驗.用He-Ne激光器、反射鏡和分束鏡組成的榦涉光路,其中一箇反射鏡固定在被測物體上,通過被測物體的移動帶動反射鏡移動使榦涉光路髮生變化,從而導緻榦涉條紋的改變.在形成榦涉條紋的位置利用線陣CCD採集榦涉條紋圖像,用序列圖像對比的方法對圖像進行處理和計算,得齣被測物體的微位移.實驗錶明利用序列圖像對比的方法測量微位移,方法切實可行、測量準確度高、測量的精度能夠達到微米量級.
연구료기우매극이손간섭조문대비법측량미위이적실험.용He-Ne격광기、반사경화분속경조성적간섭광로,기중일개반사경고정재피측물체상,통과피측물체적이동대동반사경이동사간섭광로발생변화,종이도치간섭조문적개변.재형성간섭조문적위치이용선진CCD채집간섭조문도상,용서렬도상대비적방법대도상진행처리화계산,득출피측물체적미위이.실험표명이용서렬도상대비적방법측량미위이,방법절실가행、측량준학도고、측량적정도능구체도미미량급.
