有色金属
有色金屬
유색금속
NONFERROUS METALS
2012年
6期
29-32
,共4页
张会霞%杨建明%冯光光%战宏伟
張會霞%楊建明%馮光光%戰宏偉
장회하%양건명%풍광광%전굉위
梯度膜层%工艺参数%Ti0.33Al0.67N
梯度膜層%工藝參數%Ti0.33Al0.67N
제도막층%공예삼수%Ti0.33Al0.67N
研究基体负偏压、氮分压及合金靶电流等工艺参数对Ti0.33Al0.67N梯度膜层性能的影响.结果表明,Ti0.33Al0.67N梯度膜层随着各工艺参数的增大表面形貌得到改善、沉积率增大,当超过某一个值时,却随着参数的增加形貌恶劣、沉积率降低.工艺参数对膜层显微硬度影响的次序为:TiAl合金靶电流＞基体负偏压＞氮分压.对膜基结合力影响次序为:基体负偏压＞氮分压＞TiAl合金靶电流.在试验设计的参数水平范围内,在齿轮材料40Cr表面较优的镀覆工艺参数:基体负偏压150 V、TiAl靶电流60 A、氮分压0.5 Pa.
研究基體負偏壓、氮分壓及閤金靶電流等工藝參數對Ti0.33Al0.67N梯度膜層性能的影響.結果錶明,Ti0.33Al0.67N梯度膜層隨著各工藝參數的增大錶麵形貌得到改善、沉積率增大,噹超過某一箇值時,卻隨著參數的增加形貌噁劣、沉積率降低.工藝參數對膜層顯微硬度影響的次序為:TiAl閤金靶電流＞基體負偏壓＞氮分壓.對膜基結閤力影響次序為:基體負偏壓＞氮分壓＞TiAl閤金靶電流.在試驗設計的參數水平範圍內,在齒輪材料40Cr錶麵較優的鍍覆工藝參數:基體負偏壓150 V、TiAl靶電流60 A、氮分壓0.5 Pa.
연구기체부편압、담분압급합금파전류등공예삼수대Ti0.33Al0.67N제도막층성능적영향.결과표명,Ti0.33Al0.67N제도막층수착각공예삼수적증대표면형모득도개선、침적솔증대,당초과모일개치시,각수착삼수적증가형모악렬、침적솔강저.공예삼수대막층현미경도영향적차서위:TiAl합금파전류＞기체부편압＞담분압.대막기결합력영향차서위:기체부편압＞담분압＞TiAl합금파전류.재시험설계적삼수수평범위내,재치륜재료40Cr표면교우적도복공예삼수:기체부편압150 V、TiAl파전류60 A、담분압0.5 Pa.
