仪器仪表学报
儀器儀錶學報
의기의표학보
CHINESE JOURNAL OF SCIENTIFIC INSTRUMENT
2012年
10期
2301-2306
,共6页
朱维斌%朱善安%叶树亮%岩君芳
硃維斌%硃善安%葉樹亮%巖君芳
주유빈%주선안%협수량%암군방
相位跟踪%超精密%定位%不确定度
相位跟蹤%超精密%定位%不確定度
상위근종%초정밀%정위%불학정도
为了满足超精密定位的需求,介绍了一种基于相位差跟踪的定位原理;针对该方法的具体要求,详细描述了系统的工作过程并设计完成了该定位系统,分别就定位系统关键的高频信号的发生、调理、鉴相以及驱动等模块进行了深入研究;对系统输出的线性度、迟滞、重复性和稳定性等指标进行了实验,并在考虑整个定位系统的组成部件、仪器设备等环节影响的基础上,进行了最终的定位系统不确定度合成,数据显示该定位系统最终的位移不确定度为6.10 nm.
為瞭滿足超精密定位的需求,介紹瞭一種基于相位差跟蹤的定位原理;針對該方法的具體要求,詳細描述瞭繫統的工作過程併設計完成瞭該定位繫統,分彆就定位繫統關鍵的高頻信號的髮生、調理、鑒相以及驅動等模塊進行瞭深入研究;對繫統輸齣的線性度、遲滯、重複性和穩定性等指標進行瞭實驗,併在攷慮整箇定位繫統的組成部件、儀器設備等環節影響的基礎上,進行瞭最終的定位繫統不確定度閤成,數據顯示該定位繫統最終的位移不確定度為6.10 nm.
위료만족초정밀정위적수구,개소료일충기우상위차근종적정위원리;침대해방법적구체요구,상세묘술료계통적공작과정병설계완성료해정위계통,분별취정위계통관건적고빈신호적발생、조리、감상이급구동등모괴진행료심입연구;대계통수출적선성도、지체、중복성화은정성등지표진행료실험,병재고필정개정위계통적조성부건、의기설비등배절영향적기출상,진행료최종적정위계통불학정도합성,수거현시해정위계통최종적위이불학정도위6.10 nm.
