强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2012年
10期
2459-2463
,共5页
离子灵敏探针%离子温度%金刚石膜%刻蚀%回旋离子束
離子靈敏探針%離子溫度%金剛石膜%刻蝕%迴鏇離子束
리자령민탐침%리자온도%금강석막%각식%회선리자속
利用非对称磁镜场电子回旋共振等离子体产生的氧回旋离子束刻蚀了化学气相沉积金刚石膜,研究了工作气压和磁电加热电压对金刚石样品附近的离子温度和密度的影响,并分析了金刚石膜的刻蚀和机械抛光效果.结果表明:当工作气压为0.03 Pa,磁电加热电压为200 V时,离子温度和密度最大,分别为7.38 eV和23.8×1010cm-3.在此优化条件下刻蚀金刚石膜4h后,其表面粗糙度由刻蚀前的3.525μm降为2.512 μm,机械抛光15 min后,表面粗糙度降低为0.517 μm,即金刚石膜经离子束刻蚀后可显著提高机械抛光效率.
利用非對稱磁鏡場電子迴鏇共振等離子體產生的氧迴鏇離子束刻蝕瞭化學氣相沉積金剛石膜,研究瞭工作氣壓和磁電加熱電壓對金剛石樣品附近的離子溫度和密度的影響,併分析瞭金剛石膜的刻蝕和機械拋光效果.結果錶明:噹工作氣壓為0.03 Pa,磁電加熱電壓為200 V時,離子溫度和密度最大,分彆為7.38 eV和23.8×1010cm-3.在此優化條件下刻蝕金剛石膜4h後,其錶麵粗糙度由刻蝕前的3.525μm降為2.512 μm,機械拋光15 min後,錶麵粗糙度降低為0.517 μm,即金剛石膜經離子束刻蝕後可顯著提高機械拋光效率.
이용비대칭자경장전자회선공진등리자체산생적양회선리자속각식료화학기상침적금강석막,연구료공작기압화자전가열전압대금강석양품부근적리자온도화밀도적영향,병분석료금강석막적각식화궤계포광효과.결과표명:당공작기압위0.03 Pa,자전가열전압위200 V시,리자온도화밀도최대,분별위7.38 eV화23.8×1010cm-3.재차우화조건하각식금강석막4h후,기표면조조도유각식전적3.525μm강위2.512 μm,궤계포광15 min후,표면조조도강저위0.517 μm,즉금강석막경리자속각식후가현저제고궤계포광효솔.
