强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2012年
10期
2371-2374
,共4页
曹永智%卢礼华%于福利%陈家轩%张庆春%梁迎春
曹永智%盧禮華%于福利%陳傢軒%張慶春%樑迎春
조영지%로례화%우복리%진가헌%장경춘%량영춘
等离子体浸没离子注入%高真空%摩擦磨损%PⅢ技术
等離子體浸沒離子註入%高真空%摩抆磨損%PⅢ技術
등리자체침몰리자주입%고진공%마찰마손%PⅢ기술
针对高洁净的真空环境下终端光学组件内运动机构的润滑问题,采用等离子体浸没离子注入(PⅢ)技术对复杂形状的零件进行表面改性,通过轴承内外圈表面改性前后的对比实验分析,结果表明,通过对注入元素、剂量和能量的选择,可以大幅度提高材料表面的硬度及耐磨性,并且零件的尺寸精度及表面粗糙度保持性好,充分证明了PⅢ技术可以在满足颗粒洁净度和有机物洁净度的双重要求条件下,提高运动部件抗摩擦磨损性能,延长微驱动机构的运动精度寿命,是解决终端光学组件中润滑问题的有效途径.
針對高潔淨的真空環境下終耑光學組件內運動機構的潤滑問題,採用等離子體浸沒離子註入(PⅢ)技術對複雜形狀的零件進行錶麵改性,通過軸承內外圈錶麵改性前後的對比實驗分析,結果錶明,通過對註入元素、劑量和能量的選擇,可以大幅度提高材料錶麵的硬度及耐磨性,併且零件的呎吋精度及錶麵粗糙度保持性好,充分證明瞭PⅢ技術可以在滿足顆粒潔淨度和有機物潔淨度的雙重要求條件下,提高運動部件抗摩抆磨損性能,延長微驅動機構的運動精度壽命,是解決終耑光學組件中潤滑問題的有效途徑.
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