强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2012年
10期
2296-2300
,共5页
温圣林%石琦凯%颜浩%张远航%杨春林%王健
溫聖林%石琦凱%顏浩%張遠航%楊春林%王健
온골림%석기개%안호%장원항%양춘림%왕건
光学设计与制造%连续相位板%子孔径拼接检测%面形残差%惯性约束聚变
光學設計與製造%連續相位闆%子孔徑拼接檢測%麵形殘差%慣性約束聚變
광학설계여제조%련속상위판%자공경병접검측%면형잔차%관성약속취변
基于全局最小二乘拼接算法和图像融合算法建立了连续相位板(CPP)子孔径拼接检测算法,并根据全局相关匹配原理提出采用面形残差来评价CPP的加工面形.采用高精度动态干涉仪等设备建立了相应的检测系统,并针对430mm×430mm口径CPP开展了数值模拟和检测实验.理论计算结果表明:系统计算误差为0.005nm.实验结果表明,整个检测系统软硬件RMS误差小于5nm,基本满足CPP面形检测要求.从而验证了CPP检测和评价的正确性和可行性.
基于全跼最小二乘拼接算法和圖像融閤算法建立瞭連續相位闆(CPP)子孔徑拼接檢測算法,併根據全跼相關匹配原理提齣採用麵形殘差來評價CPP的加工麵形.採用高精度動態榦涉儀等設備建立瞭相應的檢測繫統,併針對430mm×430mm口徑CPP開展瞭數值模擬和檢測實驗.理論計算結果錶明:繫統計算誤差為0.005nm.實驗結果錶明,整箇檢測繫統軟硬件RMS誤差小于5nm,基本滿足CPP麵形檢測要求.從而驗證瞭CPP檢測和評價的正確性和可行性.
기우전국최소이승병접산법화도상융합산법건립료련속상위판(CPP)자공경병접검측산법,병근거전국상관필배원리제출채용면형잔차래평개CPP적가공면형.채용고정도동태간섭의등설비건립료상응적검측계통,병침대430mm×430mm구경CPP개전료수치모의화검측실험.이론계산결과표명:계통계산오차위0.005nm.실험결과표명,정개검측계통연경건RMS오차소우5nm,기본만족CPP면형검측요구.종이험증료CPP검측화평개적정학성화가행성.
