自动化技术与应用
自動化技術與應用
자동화기술여응용
TECHNIQUES OF AUTOMATION AND APPLICATIONS
2012年
10期
25-30
,共6页
光刻机工件台%误差分析%状态反馈
光刻機工件檯%誤差分析%狀態反饋
광각궤공건태%오차분석%상태반궤
本文针对光刻机工件台技术中所要求的指标,建立了系统的电机模型,设计出终端控制系统,采用三环控制策略,并进行了宏动跟微动的控制策略仿真,并且分析了控制系统的误差,在实际应用中取得了很好的效果.
本文針對光刻機工件檯技術中所要求的指標,建立瞭繫統的電機模型,設計齣終耑控製繫統,採用三環控製策略,併進行瞭宏動跟微動的控製策略倣真,併且分析瞭控製繫統的誤差,在實際應用中取得瞭很好的效果.
본문침대광각궤공건태기술중소요구적지표,건립료계통적전궤모형,설계출종단공제계통,채용삼배공제책략,병진행료굉동근미동적공제책략방진,병차분석료공제계통적오차,재실제응용중취득료흔호적효과.
