计量技术
計量技術
계량기술
MEASUREMENT TECHNIQUE
2012年
11期
7-11
,共5页
计量学%触针杠杆式%非线性误差分析%误差补偿%大量程轮廓测量
計量學%觸針槓桿式%非線性誤差分析%誤差補償%大量程輪廓測量
계량학%촉침강간식%비선성오차분석%오차보상%대량정륜곽측량
介绍了一种基于光栅干涉测量原理的大量程、高精度触针杠杆式表面形貌传感器,并对传感器在大量程测量时的非线性误差进行了分析.测量时轮廓仪在水平和垂直方向上都会由于测杆绕固定支点的转动而产生非线性误差,为此提出了一种对水平和垂直方向上非线性误差进行校正的新方法.通过使用大量程、高精度的一维垂直微位移工作台和标准楔形斜块进行误差校正.最后分别给出校正前后误差曲线,并进行对比.通过分析可知,此方法可以有效减小测量时的非线性误差,大大提高轮廓仪在进行大量程测量时的精度,从而实现大量程、高精度测量.
介紹瞭一種基于光柵榦涉測量原理的大量程、高精度觸針槓桿式錶麵形貌傳感器,併對傳感器在大量程測量時的非線性誤差進行瞭分析.測量時輪廓儀在水平和垂直方嚮上都會由于測桿繞固定支點的轉動而產生非線性誤差,為此提齣瞭一種對水平和垂直方嚮上非線性誤差進行校正的新方法.通過使用大量程、高精度的一維垂直微位移工作檯和標準楔形斜塊進行誤差校正.最後分彆給齣校正前後誤差麯線,併進行對比.通過分析可知,此方法可以有效減小測量時的非線性誤差,大大提高輪廓儀在進行大量程測量時的精度,從而實現大量程、高精度測量.
개소료일충기우광책간섭측량원리적대량정、고정도촉침강간식표면형모전감기,병대전감기재대량정측량시적비선성오차진행료분석.측량시륜곽의재수평화수직방향상도회유우측간요고정지점적전동이산생비선성오차,위차제출료일충대수평화수직방향상비선성오차진행교정적신방법.통과사용대량정、고정도적일유수직미위이공작태화표준설형사괴진행오차교정.최후분별급출교정전후오차곡선,병진행대비.통과분석가지,차방법가이유효감소측량시적비선성오차,대대제고륜곽의재진행대량정측량시적정도,종이실현대량정、고정도측량.
