光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2013年
12期
3111-3117
,共7页
伞晓刚%孙宁%卓仁善%乔彦峰
傘曉剛%孫寧%卓仁善%喬彥峰
산효강%손저%탁인선%교언봉
大口径光电经纬仪%主镜%支撑结构%面形精度
大口徑光電經緯儀%主鏡%支撐結構%麵形精度
대구경광전경위의%주경%지탱결구%면형정도
large aperture theodolite%primary mirror%supporting structure%surface figure pricision
针对大口径光电经纬仪主镜的支撑结构对主镜面形精度的影响,对大口径光电经纬仪的Φ1 000 mm主镜的支撑结构进行了研究.分析了现有轴向和径向支撑结构的局限性,提出了适用于大口径主镜的新的轴向和径向支撑结构,并阐述了该支撑结构的工作原理和优势.利用有限元分析软件建立了主镜的参数化模型,优化了主镜轴向支撑点和径向支撑点的位置,并分析了主镜光轴在竖直和水平位置两个极限状态下的面形误差,计算得到了主镜在竖直状态下面形误差RMS值为2.52 nm;在水平状态下面形误差RMS值为4.33 nm.对主镜进行装调后,用光学干涉仪检测得到主镜光轴水平时面形精度RMS值为19.87 nm.仿真分析结果和实物检测结果都满足设计指标中面形误差RMS值小于λ/30的要求(λ=632.8 nm),验证了轴向和径向支撑结构的可行性.
針對大口徑光電經緯儀主鏡的支撐結構對主鏡麵形精度的影響,對大口徑光電經緯儀的Φ1 000 mm主鏡的支撐結構進行瞭研究.分析瞭現有軸嚮和徑嚮支撐結構的跼限性,提齣瞭適用于大口徑主鏡的新的軸嚮和徑嚮支撐結構,併闡述瞭該支撐結構的工作原理和優勢.利用有限元分析軟件建立瞭主鏡的參數化模型,優化瞭主鏡軸嚮支撐點和徑嚮支撐點的位置,併分析瞭主鏡光軸在豎直和水平位置兩箇極限狀態下的麵形誤差,計算得到瞭主鏡在豎直狀態下麵形誤差RMS值為2.52 nm;在水平狀態下麵形誤差RMS值為4.33 nm.對主鏡進行裝調後,用光學榦涉儀檢測得到主鏡光軸水平時麵形精度RMS值為19.87 nm.倣真分析結果和實物檢測結果都滿足設計指標中麵形誤差RMS值小于λ/30的要求(λ=632.8 nm),驗證瞭軸嚮和徑嚮支撐結構的可行性.
침대대구경광전경위의주경적지탱결구대주경면형정도적영향,대대구경광전경위의적Φ1 000 mm주경적지탱결구진행료연구.분석료현유축향화경향지탱결구적국한성,제출료괄용우대구경주경적신적축향화경향지탱결구,병천술료해지탱결구적공작원리화우세.이용유한원분석연건건립료주경적삼수화모형,우화료주경축향지탱점화경향지탱점적위치,병분석료주경광축재수직화수평위치량개겁한상태하적면형오차,계산득도료주경재수직상태하면형오차RMS치위2.52 nm;재수평상태하면형오차RMS치위4.33 nm.대주경진행장조후,용광학간섭의검측득도주경광축수평시면형정도RMS치위19.87 nm.방진분석결과화실물검측결과도만족설계지표중면형오차RMS치소우λ/30적요구(λ=632.8 nm),험증료축향화경향지탱결구적가행성.
