航空精密制造技术
航空精密製造技術
항공정밀제조기술
AVIATION PRECISION MANUFACTURING TECHNOLOGY
2013年
1期
1-6
,共6页
胡克想%王庆康%胡晓东%吴森
鬍剋想%王慶康%鬍曉東%吳森
호극상%왕경강%호효동%오삼
纳米加工%原子力显微镜%调制电信号%矢量式%实时测量%纳米光栅
納米加工%原子力顯微鏡%調製電信號%矢量式%實時測量%納米光柵
납미가공%원자력현미경%조제전신호%시량식%실시측량%납미광책
在Digital Instrument(DI)公司多功能SPM仪器的基础上,开发出基于原子力显微镜(AFM)调制电信号的矢量式纳米加工系统,成功地实现了纳米量级结构的加工及对加工电路中微弱电流的精密实时探测,实现了对加工电压的实时精确测量及对电容效应的实时观测等.
在Digital Instrument(DI)公司多功能SPM儀器的基礎上,開髮齣基于原子力顯微鏡(AFM)調製電信號的矢量式納米加工繫統,成功地實現瞭納米量級結構的加工及對加工電路中微弱電流的精密實時探測,實現瞭對加工電壓的實時精確測量及對電容效應的實時觀測等.
재Digital Instrument(DI)공사다공능SPM의기적기출상,개발출기우원자력현미경(AFM)조제전신호적시량식납미가공계통,성공지실현료납미량급결구적가공급대가공전로중미약전류적정밀실시탐측,실현료대가공전압적실시정학측량급대전용효응적실시관측등.
