广东科技
廣東科技
엄동과기
GUANGDONG SCIENCE & TECHNOLOGY
2012年
19期
214-215
,共2页
古耀达%周伦彬%黄志斌%王海燕%蔡永洪%孙晓辉
古耀達%週倫彬%黃誌斌%王海燕%蔡永洪%孫曉輝
고요체%주륜빈%황지빈%왕해연%채영홍%손효휘
微纳米科技%SEM计量%三维重构%不确定度
微納米科技%SEM計量%三維重構%不確定度
미납미과기%SEM계량%삼유중구%불학정도
对微纳米科技的发展现状和发展前沿进行了综述，对微纳米科技中涉及几何量计量的技术进行了简要介绍，同时讲述了现有典型的微纳米几何量测量系统。重点介绍了测量范围大，分辨率高、横纵分辨比平衡的扫描电子显微技术，提出了场发射扫描电镜三维重构的问题，也为今后研究提供了分析基础。最后对电子显微三维重构技术的未来进行了展望。
對微納米科技的髮展現狀和髮展前沿進行瞭綜述，對微納米科技中涉及幾何量計量的技術進行瞭簡要介紹，同時講述瞭現有典型的微納米幾何量測量繫統。重點介紹瞭測量範圍大，分辨率高、橫縱分辨比平衡的掃描電子顯微技術，提齣瞭場髮射掃描電鏡三維重構的問題，也為今後研究提供瞭分析基礎。最後對電子顯微三維重構技術的未來進行瞭展望。
대미납미과기적발전현상화발전전연진행료종술，대미납미과기중섭급궤하량계량적기술진행료간요개소，동시강술료현유전형적미납미궤하량측량계통。중점개소료측량범위대，분변솔고、횡종분변비평형적소묘전자현미기술，제출료장발사소묘전경삼유중구적문제，야위금후연구제공료분석기출。최후대전자현미삼유중구기술적미래진행료전망。
