衬底温度对AlN/ZnO复合薄膜结构形貌的影响
츤저온도대AlN/ZnO복합박막결구형모적영향
Influence of Substrate Temperature on Crystal Morphology of AlN/ZnO Compound Thin Films
  • 万方数据
    压电与声光 압전여성광
    PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
    2012年 5期 753-755,759 ,共4页

    高扬%许绍俊%谌青青%孟祥钦%杨涛%文忠%张彩虹%杨成韬

    고양%허소준%심청청%맹상흠%양도%문충%장채홍%양성도

    AlN/ZnO复合薄膜%磁控溅射%衬底温度%结构%形貌 AlN/ZnO複閤薄膜%磁控濺射%襯底溫度%結構%形貌
    AlN/ZnO복합박막%자공천사%츤저온도%결구%형모
    采用直流反应磁控溅射法在ZnO/Si基片上制备了良好(002)(c轴)取向的AlN薄膜,利用XRD、AFM对不同衬底温度下制备的AlN薄膜的结构、形貌进行了分析表征.结果表明,在一定湿度范围内(450～650℃),随着衬底温度的升高,晶粒逐渐长大,沉积速率增大,表面粗糙度先减小后增大；AlN(002)择优取向呈改善趋势,取向度先增大后减小,600℃时达到最佳.
    채용직류반응자공천사법재ZnO/Si기편상제비료량호(002)(c축)취향적AlN박막,이용XRD、AFM대불동츤저온도하제비적AlN박막적결구、형모진행료분석표정.결과표명,재일정습도범위내(450～650℃),수착츤저온도적승고,정립축점장대,침적속솔증대,표면조조도선감소후증대；AlN(002)택우취향정개선추세,취향도선증대후감소,600℃시체도최가.
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