太阳能
太暘能
태양능
SOLAR ENERGY
2013年
23期
8-11
,共4页
Chiba Y%Abe Y%Kawamura M%Sasaki K%刘光诒
Chiba Y%Abe Y%Kawamura M%Sasaki K%劉光詒
Chiba Y%Abe Y%Kawamura M%Sasaki K%류광이
反应溅射%等离子体发射强度%靶电压%临界状态
反應濺射%等離子體髮射彊度%靶電壓%臨界狀態
반응천사%등리자체발사강도%파전압%림계상태
反应溅射是制造化合物薄膜最通用的一种技术,至关重要的是靶由金属模式过渡到氧化物模式的临界条件.我们研究了Al-O2反应溅射过程中,总气体流量与溅射功率对临界靶过渡模式的影响.发现在临界条件下,溅射出的Al原子数(NA1)与供给的O原子数(No)之比几乎是常数,NAl/No接近于Al2O3的理想化学配比(2∶3).因而可认为,导入的氧几乎完全被Al原子结合,靶仍处于临界条件以下,仍为金属模式.提高供给的O原子量至超过Al2O3的理想化学配比,则输入的氧量超过反应结合效应的氧量,等离子体中氧的浓度突然提高,靶的模式由金属模式变为氧化物模式.
反應濺射是製造化閤物薄膜最通用的一種技術,至關重要的是靶由金屬模式過渡到氧化物模式的臨界條件.我們研究瞭Al-O2反應濺射過程中,總氣體流量與濺射功率對臨界靶過渡模式的影響.髮現在臨界條件下,濺射齣的Al原子數(NA1)與供給的O原子數(No)之比幾乎是常數,NAl/No接近于Al2O3的理想化學配比(2∶3).因而可認為,導入的氧幾乎完全被Al原子結閤,靶仍處于臨界條件以下,仍為金屬模式.提高供給的O原子量至超過Al2O3的理想化學配比,則輸入的氧量超過反應結閤效應的氧量,等離子體中氧的濃度突然提高,靶的模式由金屬模式變為氧化物模式.
반응천사시제조화합물박막최통용적일충기술,지관중요적시파유금속모식과도도양화물모식적림계조건.아문연구료Al-O2반응천사과정중,총기체류량여천사공솔대림계파과도모식적영향.발현재림계조건하,천사출적Al원자수(NA1)여공급적O원자수(No)지비궤호시상수,NAl/No접근우Al2O3적이상화학배비(2∶3).인이가인위,도입적양궤호완전피Al원자결합,파잉처우림계조건이하,잉위금속모식.제고공급적O원자량지초과Al2O3적이상화학배비,칙수입적양량초과반응결합효응적양량,등리자체중양적농도돌연제고,파적모식유금속모식변위양화물모식.
