昆明理工大学学报（自然科学版）
昆明理工大學學報（自然科學版）
곤명리공대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF KUNMING UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY（SCIENCE AND TECHNOLOGY）
2012年
6期
12-20
,共9页
戴永年%马文会%杨斌%刘大春%栗曼%魏钦帅
戴永年%馬文會%楊斌%劉大春%慄曼%魏欽帥
대영년%마문회%양빈%류대춘%률만%위흠수
多晶硅%氧化法%吹炼%等离子气%H2/O2比
多晶硅%氧化法%吹煉%等離子氣%H2/O2比
다정규%양화법%취련%등리자기%H2/O2비
冶金法精炼硅制多晶硅(6N),供太阳能电池使用,其成本可能较低而受到关注.冶金法中重要的一步是氧化法,它将粗硅中的杂质氧化成化合物的自由能(△G)位低的全部或部分除去,如Al、Ca、Ti、B、C等.氧化精炼硅用的方法有炉中吹炼、等离子吹炼；吹的气体有氩气、氮气、氧气、空气、H2O、CO2和氢气等.本文将研究工作和工厂实践集中归纳,力图明晰氧化法精炼硅的规律,以利于进一步深入研究和生产实践.
冶金法精煉硅製多晶硅(6N),供太暘能電池使用,其成本可能較低而受到關註.冶金法中重要的一步是氧化法,它將粗硅中的雜質氧化成化閤物的自由能(△G)位低的全部或部分除去,如Al、Ca、Ti、B、C等.氧化精煉硅用的方法有爐中吹煉、等離子吹煉；吹的氣體有氬氣、氮氣、氧氣、空氣、H2O、CO2和氫氣等.本文將研究工作和工廠實踐集中歸納,力圖明晰氧化法精煉硅的規律,以利于進一步深入研究和生產實踐.
야금법정련규제다정규(6N),공태양능전지사용,기성본가능교저이수도관주.야금법중중요적일보시양화법,타장조규중적잡질양화성화합물적자유능(△G)위저적전부혹부분제거,여Al、Ca、Ti、B、C등.양화정련규용적방법유로중취련、등리자취련；취적기체유아기、담기、양기、공기、H2O、CO2화경기등.본문장연구공작화공엄실천집중귀납,력도명석양화법정련규적규률,이리우진일보심입연구화생산실천.
