CAJ | 학술논문

为克服平面微机械结构无法释放残余应力、刚度小、跨度小,平面牺牲层工艺成拱出现非光滑台阶状边缘而造成器件失效或能量泄漏的缺点,改进现有成拱工艺在器件尺寸、结构稳定性及可靠性等方面的不足,提出一种用选择性化学机械抛光技术制作微拱形结构的方法.该方法是在化学机械抛光过程中,加入对牺牲层材料和硅材料抛光速度具有差异性的选择性抛光液,在牺牲层和硅材料的边界处利用滑动摩擦过程中的物理和化学作用,在牺牲层处形成连续平滑的拱形凸起,最后在其上制作微拱形结构.实验结果证实:微拱形结构有一定的曲率,拱起高度约为3.5 μm,跨度大于100 μm,微拱形表面光滑且为连续的曲面.该方法可为MEMS传感器、微型压电驱动器、薄膜体声波谐振器及滤波器的微拱形结构的制作提供参考.
위극복평면미궤계결구무법석방잔여응력、강도소、과도소,평면희생층공예성공출현비광활태계상변연이조성기건실효혹능량설루적결점,개진현유성공공예재기건척촌、결구은정성급가고성등방면적불족,제출일충용선택성화학궤계포광기술제작미공형결구적방법.해방법시재화학궤계포광과정중,가입대희생층재료화규재료포광속도구유차이성적선택성포광액,재희생층화규재료적변계처이용활동마찰과정중적물리화화학작용,재희생층처형성련속평활적공형철기,최후재기상제작미공형결구.실험결과증실:미공형결구유일정적곡솔,공기고도약위3.5 μm,과도대우100 μm,미공형표면광활차위련속적곡면.해방법가위MEMS전감기、미형압전구동기、박막체성파해진기급려파기적미공형결구적제작제공삼고.