传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2013年
4期
106-108,112
,共4页
宋小鹏%杜春晖%葛晓洋%何常德%张文栋
宋小鵬%杜春暉%葛曉洋%何常德%張文棟
송소붕%두춘휘%갈효양%하상덕%장문동
加速度传感器%MEMS%压阻式%叠加电桥检测
加速度傳感器%MEMS%壓阻式%疊加電橋檢測
가속도전감기%MEMS%압조식%첩가전교검측
基于压阻效应的叠加电桥检测法加速度传感器采用超对称“八悬臂梁-质量块”结构,构成惠斯通电桥的力敏电阻器布放在悬臂梁的两端,4个惠斯通电桥的输出电压叠加后作为传感器的最终输出,有效提高了加速度传感器的灵敏度.通过数学建模仿真分析验证了方案的可行性.性能测试结果表明:该加速度计的灵敏度为1.1381 mV/gn,频响范围为0～1000 Hz,灵敏度约为单电桥检测法和串联电桥检测法加速度传感器灵敏度的4倍.叠加电桥检测法为压阻式传感器提高灵敏度提供了一种新思路.
基于壓阻效應的疊加電橋檢測法加速度傳感器採用超對稱“八懸臂樑-質量塊”結構,構成惠斯通電橋的力敏電阻器佈放在懸臂樑的兩耑,4箇惠斯通電橋的輸齣電壓疊加後作為傳感器的最終輸齣,有效提高瞭加速度傳感器的靈敏度.通過數學建模倣真分析驗證瞭方案的可行性.性能測試結果錶明:該加速度計的靈敏度為1.1381 mV/gn,頻響範圍為0～1000 Hz,靈敏度約為單電橋檢測法和串聯電橋檢測法加速度傳感器靈敏度的4倍.疊加電橋檢測法為壓阻式傳感器提高靈敏度提供瞭一種新思路.
기우압조효응적첩가전교검측법가속도전감기채용초대칭“팔현비량-질량괴”결구,구성혜사통전교적력민전조기포방재현비량적량단,4개혜사통전교적수출전압첩가후작위전감기적최종수출,유효제고료가속도전감기적령민도.통과수학건모방진분석험증료방안적가행성.성능측시결과표명:해가속도계적령민도위1.1381 mV/gn,빈향범위위0～1000 Hz,령민도약위단전교검측법화천련전교검측법가속도전감기령민도적4배.첩가전교검측법위압조식전감기제고령민도제공료일충신사로.
