传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2013年
4期
51-53
,共3页
SU-8胶%模具%工艺
SU-8膠%模具%工藝
SU-8효%모구%공예
主要描述了SU-8胶制造微流体芯片用模具的工艺研究.讨论了各工艺流程主要包括有前烘、中烘、光刻、显影等因素对模具的影响.提出了一个可供参考的模具制作工艺流程,对抗粘层工艺进行了讨论.另外,在模具制造过程中加入反应离子刻蚀(RIE)来提高SU-8与硅基底的粘附性.最终通过上述的工艺研究,成功制作出了应用于流体的模具,并制造成了微流控芯片.
主要描述瞭SU-8膠製造微流體芯片用模具的工藝研究.討論瞭各工藝流程主要包括有前烘、中烘、光刻、顯影等因素對模具的影響.提齣瞭一箇可供參攷的模具製作工藝流程,對抗粘層工藝進行瞭討論.另外,在模具製造過程中加入反應離子刻蝕(RIE)來提高SU-8與硅基底的粘附性.最終通過上述的工藝研究,成功製作齣瞭應用于流體的模具,併製造成瞭微流控芯片.
주요묘술료SU-8효제조미류체심편용모구적공예연구.토론료각공예류정주요포괄유전홍、중홍、광각、현영등인소대모구적영향.제출료일개가공삼고적모구제작공예류정,대항점층공예진행료토론.령외,재모구제조과정중가입반응리자각식(RIE)래제고SU-8여규기저적점부성.최종통과상술적공예연구,성공제작출료응용우류체적모구,병제조성료미류공심편.
