开封大学学报
開封大學學報
개봉대학학보
JOURNAL OF KAIFENG UNIVERSITY
2012年
1期
73-76
,共4页
铁电薄膜%共掺杂%BNT(Al(X)，Sc(x))%化学溶液沉积法
鐵電薄膜%共摻雜%BNT(Al(X)，Sc(x))%化學溶液沉積法
철전박막%공참잡%BNT(Al(X)，Sc(x))%화학용액침적법
ferroelectric films%cosubstitution%BNT ( Al ( x ),Sc ( x ) )%chemical solution deposition
利用化学溶液沉积法，在Pt／Ti／SiO2／Si（100）基底上和700℃条件下分别制备了Nd和（Al，Sc）共掺杂的钛酸铋薄膜（Bi3.15，Nd0.85）（Ti3-x（Alx，scx））O12[记做BNT（AI（x），sc（x））]（x=0．015，0．030，0．045，0．060），并进行了这一系列薄膜的微结构、表面形貌、铁电等特性的研究．发现当掺杂含量为x=0．030时，薄膜具有较高的剩余极化强度（2Pr=24．80／2C／cm2）．讨论了相关的物理机制．
利用化學溶液沉積法，在Pt／Ti／SiO2／Si（100）基底上和700℃條件下分彆製備瞭Nd和（Al，Sc）共摻雜的鈦痠鉍薄膜（Bi3.15，Nd0.85）（Ti3-x（Alx，scx））O12[記做BNT（AI（x），sc（x））]（x=0．015，0．030，0．045，0．060），併進行瞭這一繫列薄膜的微結構、錶麵形貌、鐵電等特性的研究．髮現噹摻雜含量為x=0．030時，薄膜具有較高的剩餘極化彊度（2Pr=24．80／2C／cm2）．討論瞭相關的物理機製．
이용화학용액침적법，재Pt／Ti／SiO2／Si（100）기저상화700℃조건하분별제비료Nd화（Al，Sc）공참잡적태산필박막（Bi3.15，Nd0.85）（Ti3-x（Alx，scx））O12[기주BNT（AI（x），sc（x））]（x=0．015，0．030，0．045，0．060），병진행료저일계렬박막적미결구、표면형모、철전등특성적연구．발현당참잡함량위x=0．030시，박막구유교고적잉여겁화강도（2Pr=24．80／2C／cm2）．토론료상관적물리궤제．
A series of Nd and （ Al, Sc ） eosubstituted bismuth titanate films of （ Bi3.15 Nd0.85 ） （ Ti3-X （ Alx, Sex） ） O12 { BNT{ AI（ x} ,Sc（x） ） { x =0.015,0. 030,0. 045,0.060} have been prepared on Pt/Ti/SiO2/Si（ 100） substrates at 700℃ by a chemical solution deposition technique, respectively. The structural evolution and ferroelectric properties of the as-deposited films were sys- tematically investigated as a function of （ Al, Sc ） composition x. It was found that an optimized （ Al, Sc ） content,x = 0. 030, can greatly enhance the remnant polarization （ 2Pr = 24. 80μC/cm2 ） . The relevant physical mechanisms were discussed.
