无线电工程
無線電工程
무선전공정
RADIO ENGINEERING OF CHINA
2012年
11期
40-43
,共4页
射频微机电系统%开关%隔离度%插入损耗
射頻微機電繫統%開關%隔離度%插入損耗
사빈미궤전계통%개관%격리도%삽입손모
RF MEMS%switch%isolation%insertion loss
针对具有低损耗、高隔离度性能的微机电系统（Micro-Electro-Mechanical System,MEMS）开关,介绍了串联DC式和并联电容式的开关结构模型,并对并联电容式MEMS开关的工作原理、等效电路模型和制造工艺流程进行了描述,利用其模型研究了开关的微波传输性能,设计了一款电容耦合式开关并进行了仿真。由仿真结果可得,开关＂开态＂时的插入损耗在40 GHz以内优于-0.3 dB;开关＂关态＂时的隔离度在20～40 GHz相对较宽的频带内优于-20 dB。
針對具有低損耗、高隔離度性能的微機電繫統（Micro-Electro-Mechanical System,MEMS）開關,介紹瞭串聯DC式和併聯電容式的開關結構模型,併對併聯電容式MEMS開關的工作原理、等效電路模型和製造工藝流程進行瞭描述,利用其模型研究瞭開關的微波傳輸性能,設計瞭一款電容耦閤式開關併進行瞭倣真。由倣真結果可得,開關＂開態＂時的插入損耗在40 GHz以內優于-0.3 dB;開關＂關態＂時的隔離度在20～40 GHz相對較寬的頻帶內優于-20 dB。
침대구유저손모、고격리도성능적미궤전계통（Micro-Electro-Mechanical System,MEMS）개관,개소료천련DC식화병련전용식적개관결구모형,병대병련전용식MEMS개관적공작원리、등효전로모형화제조공예류정진행료묘술,이용기모형연구료개관적미파전수성능,설계료일관전용우합식개관병진행료방진。유방진결과가득,개관＂개태＂시적삽입손모재40 GHz이내우우-0.3 dB;개관＂관태＂시적격리도재20～40 GHz상대교관적빈대내우우-20 dB。
With respect to MEMS switches with low insertion loss and high isolation,the structures of cantilever MEMS switches and capacitive MEMS switches are introduced,and the operation principle,equivalent circuit model and manufacturing process of a shunt capacitive RF MEMS switch are described.Simulation result shows that when the switch is in "ON" state,the insertion loss is less than-0.3 dB within 40 GHz;and when the switch is in "OFF" state,an isolation of more than-20 dB can be achieved within 20~40 GHz.
