山西电子技术
山西電子技術
산서전자기술
SHANXI ELECTRONIC TECHNOLOGY
2012年
3期
80-81
,共2页
金属氧化物%直热式%气体传感器%制作工艺
金屬氧化物%直熱式%氣體傳感器%製作工藝
금속양화물%직열식%기체전감기%제작공예
metal oxide%straight hot%gas sensor%production process
金属氧化物直热式气体传感器是一种功耗很低的气体传感器,本文叙述了金属氧化物直热式传感器的制作工艺研制的过程,并对该项技术的发展方向进行了展望。
金屬氧化物直熱式氣體傳感器是一種功耗很低的氣體傳感器,本文敘述瞭金屬氧化物直熱式傳感器的製作工藝研製的過程,併對該項技術的髮展方嚮進行瞭展望。
금속양화물직열식기체전감기시일충공모흔저적기체전감기,본문서술료금속양화물직열식전감기적제작공예연제적과정,병대해항기술적발전방향진행료전망。
Metal oxide straight hot gas sensor is a kind of gas sensors which power consumption is very low.This paper describes the development process of the metal oxide straight heat sensor production technology,and the development direction of this technology is prospected.