电工技术学报
電工技術學報
전공기술학보
TRANSACTIONS OF CHINA ELECTROTECHNICAL SOCIETY
2013年
7期
1-11
,共11页
平面电机%超精密定位%多自由度%短行程%重力补偿器
平麵電機%超精密定位%多自由度%短行程%重力補償器
평면전궤%초정밀정위%다자유도%단행정%중력보상기
Planar motor%ultra-precision positioning%multi-DOF%micro-motion%gravity compensator
多自由度短行程超精密平面电机具有高精度、高速度、高频响等优点,在半导体光刻加工、超精密测量、生物芯片技术等现代精密、超精密加工装备领域具有广阔的应用前景,近年来受到学术界的广泛关注.本文介绍了多自由度短行程超精密平面电机的研究现状,对近年来国内外用于实现超精密定位的主流结构进行了综述,总结了目前超精密平面电机的主要研究内容与关键技术,并讨论了其未来的发展趋势.
多自由度短行程超精密平麵電機具有高精度、高速度、高頻響等優點,在半導體光刻加工、超精密測量、生物芯片技術等現代精密、超精密加工裝備領域具有廣闊的應用前景,近年來受到學術界的廣汎關註.本文介紹瞭多自由度短行程超精密平麵電機的研究現狀,對近年來國內外用于實現超精密定位的主流結構進行瞭綜述,總結瞭目前超精密平麵電機的主要研究內容與關鍵技術,併討論瞭其未來的髮展趨勢.
다자유도단행정초정밀평면전궤구유고정도、고속도、고빈향등우점,재반도체광각가공、초정밀측량、생물심편기술등현대정밀、초정밀가공장비영역구유엄활적응용전경,근년래수도학술계적엄범관주.본문개소료다자유도단행정초정밀평면전궤적연구현상,대근년래국내외용우실현초정밀정위적주류결구진행료종술,총결료목전초정밀평면전궤적주요연구내용여관건기술,병토론료기미래적발전추세.
