CAJ | 학술논문

采用脉冲激光沉积方法,在氧化镁(MgO)单晶的(001)晶面上制备出钛酸钡(BaTiO3)/钛酸锶(SrTiO3)多层薄膜.利用高分辨透射电子显微镜(HRTEM)以及高角环形暗场(HAADF)像对其微观结构进行了详细研究,并探讨了多层膜的生长机制.结果表明:(1)在基体/薄膜界面附近存在周期性的失配位错,伯格斯矢量为a/2〈110〉；(2)界面附近存在界面层(过渡层),层内可能存在局部畴域；(3)薄膜内存在位移矢量为1/2〈 110〉的富Ti型和富Ba型两种层错；(4)薄膜生长过程中,由于弛豫产生的应变分布不均使得沉积原子倾向于在低应力处成核,最终多层膜显示柱状结构.
채용맥충격광침적방법,재양화미(MgO)단정적(001)정면상제비출태산패(BaTiO3)/태산송(SrTiO3)다층박막.이용고분변투사전자현미경(HRTEM)이급고각배형암장(HAADF)상대기미관결구진행료상세연구,병탐토료다층막적생장궤제.결과표명:(1)재기체/박막계면부근존재주기성적실배위착,백격사시량위a/2〈110〉；(2)계면부근존재계면층(과도층),층내가능존재국부주역；(3)박막내존재위이시량위1/2〈 110〉적부Ti형화부Ba형량충층착；(4)박막생장과정중,유우이예산생적응변분포불균사득침적원자경향우재저응력처성핵,최종다층막현시주상결구.