功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2012年
z1期
97-100
,共4页
邓小玲%蔡苇%符春林%陈刚%郭冬娇
鄧小玲%蔡葦%符春林%陳剛%郭鼕嬌
산소령%채위%부춘림%진강%곽동교
BZT薄膜%Sn掺杂%性能
BZT薄膜%Sn摻雜%性能
BZT박막%Sn참잡%성능
采用sol-gel法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了Sn掺杂Ba(Zr0.2 Ti0.8)O3 (BZT)薄膜.结果表明,掺锡的BZT薄膜为钙钛矿结构,当Sn掺量超过4％时,出现了第二相BaO；SEM观察发现掺锡BZT薄膜表面光滑平整,孔洞和裂纹较少；当Sn掺量达到8％时,BZT薄膜的介电常数达到最大值,而介电损耗最小；BZT薄膜的剩余极化强度为2.29μC/cm2,矫顽场强为10.36kV/cm.
採用sol-gel法在Pt/Ti/SiO2/Si襯底上製備瞭Sn摻雜Ba(Zr0.2 Ti0.8)O3 (BZT)薄膜.結果錶明,摻錫的BZT薄膜為鈣鈦礦結構,噹Sn摻量超過4％時,齣現瞭第二相BaO；SEM觀察髮現摻錫BZT薄膜錶麵光滑平整,孔洞和裂紋較少；噹Sn摻量達到8％時,BZT薄膜的介電常數達到最大值,而介電損耗最小；BZT薄膜的剩餘極化彊度為2.29μC/cm2,矯頑場彊為10.36kV/cm.
채용sol-gel법재Pt/Ti/SiO2/Si츤저상제비료Sn참잡Ba(Zr0.2 Ti0.8)O3 (BZT)박막.결과표명,참석적BZT박막위개태광결구,당Sn참량초과4％시,출현료제이상BaO；SEM관찰발현참석BZT박막표면광활평정,공동화렬문교소；당Sn참량체도8％시,BZT박막적개전상수체도최대치,이개전손모최소；BZT박막적잉여겁화강도위2.29μC/cm2,교완장강위10.36kV/cm.
